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超緊湊線性平移臺（亞微米）

AU- M3-LS精密壓電線性微動臺是集動力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個世界上zui小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。

超緊湊線性平移臺（亞微米）

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①  AU-M3-LS采用SQL-RV-1.8微型壓降直線微電機系統(tǒng)。該動力系統(tǒng)主要包括目前世界上zui小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業(yè)界內(nèi)zui小的壓電馬達(dá)NSD-2101驅(qū)動IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運動性能。該直線微電機馬達(dá)擁有較小的體積但可以提供更大的功率和穩(wěn)定性。分辨率為0.5mm，精度是電磁馬達(dá)的十倍。該馬達(dá)沒有齒輪和凸輪，直接提供直線移動的動力，并采用自鎖設(shè)計，只有移動的時候才會耗電。因此比同等電磁馬達(dá)的功耗降低40%。NSD-2101驅(qū)動是把輸入的直流電轉(zhuǎn)換為高頻交流電來控制馬達(dá)。并且可以通過I2C串行接口接受來自系統(tǒng)的指令。

②  AU-M3-LS超小型線性微動臺為閉環(huán)的運動系統(tǒng)。采用NSE-5310位置傳感器，分辨率可達(dá)到0.5mm。該傳感器芯片上集成數(shù)字編碼器的磁傳感器陣列，將磁性正弦波轉(zhuǎn)換為數(shù)字直接輸出。芯片上編碼使用標(biāo)準(zhǔn)I2C協(xié)議提供直接數(shù)字輸出，無需外部脈沖計數(shù)器。高效的控制系統(tǒng)通信在單個I2C總線上zui多允許兩個位置傳感器。另外該傳感器對外部環(huán)境不敏感，可適用于光照、沖擊、振動等條件。

③ AU-M3-LS超緊湊型線性微動臺不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標(biāo)準(zhǔn)的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動該控制器?？梢酝ㄟ^USB連接電腦，直接通過軟件控制該微動臺的運動。操作簡單使用方便。

此外該微動臺多個可組合成多軸運動的微動臺。兩個可以組合成X-Y軸運動的平臺，三個可組合成X-Y-Z的多軸微動臺。

u  產(chǎn)品主要特點

• 超小體積 （29 x 20 x 10 mm）
• 無需外加控制器
• 大行程（6mm）
• 高分辨率（0.5mm）
• 堅固性優(yōu)
• 高重復(fù)性
• 低功耗 （工作時<o.7W）
• 可組成多軸微動臺
• 可直接從USB適配運行

u  主要應(yīng)用

手持和便攜設(shè)備、便攜式醫(yī)療設(shè)備、微型顯微鏡、光譜學(xué)、微器件裝配、生物醫(yī)學(xué)探測和抽樣、高分辨率調(diào)諧系統(tǒng)、無人機/地面車輛控制和光學(xué)、微型相機系統(tǒng)等。

u  主要參數(shù)