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WLI白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo

三豐Mitutoyo新推出具有更高干涉信號對比度，可以同時(shí)測高反射率部分和低反射率部分樣品的白光干涉顯微鏡及物鏡。

白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo特點(diǎn)：

● 實(shí)現(xiàn)非接觸式3D表面形狀測量和輪廓測量

可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測量

（例如：3D形狀測量、3D粗糙度測量）

● 不依賴于光學(xué)倍率的高度測量精度

即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進(jìn)行測量

● 高縱橫比測量

不依賴于光學(xué)系統(tǒng)的NA進(jìn)行檢測，支持高縱橫比形狀測量

● 抗干擾震動(dòng)的高穩(wěn)定性

● 小型輕便

使用一般的WLI系統(tǒng)，測量不同反射率的產(chǎn)品時(shí)：

當(dāng)視野中包含高反射率和低反射率的部分

　1)配合反射率高的部分調(diào)整光量時(shí)，反射率低的部分會(huì)光量不足。

　2)配合反射率低的部分調(diào)整光量時(shí)，反射率高的部分光量發(fā)生飽和，無法測量。

而使用三豐的WLI測量反射率不同地方的測量時(shí)，當(dāng)視野中包含反射率高部分和反射率低部分，光量對準(zhǔn)反射率低的部分，也可測量反射率高的部分。

白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品規(guī)格：

白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo案例：

白光干涉測量用物鏡WLI Plan Apo

白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 與WLI-Unit配套的新設(shè)計(jì)

• 確保長工作距離，小型輕量化（齊焦距離60mm）
  

• 高NA，高分辨力

• 平場復(fù)消色差
  

• 物鏡內(nèi)部搭載分光器和參考鏡
  

• 標(biāo)配干涉條紋調(diào)整裝置