目錄:束蘊儀器（上海）有限公司>>三維X射線顯微鏡（XRM）>> 弗萊貝格--XRD-OEM在線X射線衍射儀-全自動化單晶定向儀
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
?產(chǎn)品介紹
德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)，主要用于對晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測量。
XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)可以直接集成到研磨或鋸切設(shè)備中使用，將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中，解決了由于加工設(shè)備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業(yè)難題。
?XRD-OEM的特點
--可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于環(huán)境(研磨、鋸切)
--緊湊、標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)接口
--獨立定位測量，可測量平面或圓周
--光學(xué)等級檢測
--解決了行業(yè)難題:
-如果加工設(shè)備和定向測量是分開的，那么就會因為樣品轉(zhuǎn)移
而造成定向誤差
-市場對于準(zhǔn)確對齊的晶圓的需求量越來越大
--將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中（研磨或鋸切）
?技術(shù)參數(shù)
--可測量材料：硅，碳化硅，砷化鎵及更多
--樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米
--冷卻：空氣，低噪音
--可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預(yù)對準(zhǔn)
?應(yīng)用實例
硅錠取向:
--磨削前對平面和缺口位置的檢測
--樣品直徑可達8 "，長度可達40厘米
?XRD-OEM適配普遍的打磨設(shè)備
無需移動樣本即可進行定向，可與打磨產(chǎn)線相結(jié)合直接進行在線檢測
可以直接集成到基礎(chǔ)機圓磨床72/856上
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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