AR-Meta 超表面光場檢測系統(tǒng)

典型應(yīng)用領(lǐng)域：
超表面器件 超表面器件在空間上具有復(fù)雜的光場調(diào)控能力，需要在微米尺度下掃描光場。
超透鏡 受限于設(shè)計(jì)規(guī)模和微納加工能力，超透鏡難以實(shí)現(xiàn)較大口徑。面向折射型透鏡的傳統(tǒng)檢測工具已無法滿足該類器件的光學(xué)性質(zhì)表征需求，針對超透鏡特點(diǎn)設(shè)計(jì)的檢測平臺應(yīng)運(yùn)而生。
微透鏡 口徑在數(shù)百微米以下的微透鏡及陣列，在集成光學(xué)中已開始發(fā)揮重要作用，受限于透鏡口徑，當(dāng)前缺乏商用化的微透鏡光學(xué)指標(biāo)檢測平臺。
      
  AR-Meta 超表面光場檢測 在以上領(lǐng)域的應(yīng)用得益于如下幾個特點(diǎn)：1.μm 量級測量區(qū)域  AR-Meta 基于 Olympus 商用顯微平臺，配合消除像差的準(zhǔn)直及成像光路，實(shí)現(xiàn)了 μm 量級超表面器件光場檢測； 2.超過 7 項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)  圍繞超表面器件及超透鏡領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，AR-Meta 形成了焦距、成像分辨率 (含角向分辨率)、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù) (PSF)、調(diào)制傳遞函數(shù) (MTF)、斯特列爾比 (Strehl Ratio)、數(shù)值孔徑 (N.A.)、偏折效率 (Deflection Efficiency) 等超過 7 項(xiàng)衡量器件光學(xué)性質(zhì)的關(guān)鍵指標(biāo)；3.寬 380~1700nm 譜段  AR-Meta 內(nèi)部支持兩個譜段：可見和近紅外 (含 850nm,1310nm,1550nm)，并通過高穩(wěn)定切換部件實(shí)現(xiàn)了兩者的切換，與之匹配的是可以通過外部接口，引入多種波長的激光光源；4.反射 + 透射  AR-Meta 具有獨(dú)立的反射與透射兩套光路，能夠輕松實(shí)現(xiàn)反射情況下 0~20mm 縱深，透射情況下 0~2mm 縱深的光場掃描； 5.工程化設(shè)計(jì)  AR-Meta 在設(shè)計(jì)中充分考慮了光路切換的穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了控制的自動化，保障良好用戶體驗(yàn)；6.除此之外，內(nèi)秉的線偏振與圓偏振器件，多種濾色片的選擇等，使 AR-Meta 的應(yīng)用覆蓋了超表面檢測所需要的多數(shù)場合。

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