1、引言

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

2、主要技術(shù)指標(biāo)

電機(jī)功率：350W

電源：AC220V 50Hz

速度范圍：500rpm-10000rpm

程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s

時(shí)間范圍：0-60s

吸盤：Ø19mm、Ø60mm

本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-150℃； 加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟；溫度單獨(dú)控制，與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)；

尺寸：450mm×280mm×340mm

重量：20kg