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OHARA高質(zhì)量石英玻璃 尺寸Φ500 xt100mm2
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SK-1300純度,OH含量低得多,是種可用于半導(dǎo)體和液晶顯示行業(yè)的合成熔融石英
尺寸(mm) Φ500 xt100
條紋 Class 1 Grade"A"
均勻性 1D≤2x10-6
雙折射(nm/cm2) ≤3
氣泡雜質(zhì)(mm2/100cm3) 0 ~ 0.03
熒光
透過范圍(nm)(>80%) 170~2500
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由于對(duì)光纖制造技術(shù)的傳統(tǒng)VAD(氣相軸向沉積)方法進(jìn)行了重大改進(jìn),成功開發(fā)了合成熔融石英SK-1300系列。 與傳統(tǒng)直接法相比,SK-1300系列純度,OH含量低得多,因此它是種可用于半導(dǎo)體和液晶顯示行業(yè)的合成熔融石英。
SK-1300系列在光學(xué)特性方面是的技術(shù),因?yàn)樗峁┝撕芨叩姆直媛首贤饩€透射,無微夾雜,耐日曬,此外還具有耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度和耐化學(xué)性。 這些產(chǎn)品可用于半導(dǎo)體、光學(xué)和所有物理或化學(xué)相關(guān)研究的各種工業(yè)應(yīng)用。
可用于: 各種器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶體管LCD)、SOI(絕緣硅)等;超大規(guī)模集成電路和液晶顯示器用光掩?;?;ULSI制造工藝用反應(yīng)器爐管、夾具和工具;放電管;用于紫外和真紫外的光學(xué)元件,透鏡,反射鏡,窗口。

產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 超高純度(總金屬雜質(zhì)小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下;
3. 確保高耐熱性;
4. 實(shí)現(xiàn)高傳輸(SK-1310在紫外線、可見光和紅外的整個(gè)波長范圍內(nèi)都具有優(yōu)異的特性);
5. 不含氣泡或條紋;
6. 優(yōu)異的抗激光性能

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