詳細介紹
以前我們要根據(jù)不同的觀察信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡稱WD),以獲得最佳的觀察與分析條件,而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng),可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號,縮短了樣品觀察和分析的時間,提高了測試效率?!?/span>
而且,日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡還配置了可同時6通道顯示界面(前代機型只能同時顯示4通道),進一步升級電鏡控制系統(tǒng),大幅提高了信號獲取速度,由此實現(xiàn)了樣品的高效率觀察。它還標配超大樣品倉,增設了附件接口,可適用于各種樣品的觀察與分析。
日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡主要特點:
在相同的WD條件下,可同時實現(xiàn)二次電子,背散射電子觀察與X射線能譜分析。
可同時實現(xiàn)6通道檢測與顯示;
成像分辨率最大可達10240x7680像素;
配置18個附件接口,支持低至300Pa的低真空模式觀察;(選配)