FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對(duì)簡單，并且它可以觀察、測量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域。近年來，以Materials Integration為代表，其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴(kuò)展，短時(shí)間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù)，減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場的一大需求。

為滿足這一需求，此次特推出的日立冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù)，同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。

 

在細(xì)微結(jié)構(gòu)分析中，日立冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600可以實(shí)現(xiàn)低加速電壓觀察，對(duì)高分子等易受電子束照射影響的材料進(jìn)行高分辨觀察。該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)如下：

1．支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。

此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動(dòng)獲取各種大量數(shù)據(jù)會(huì)大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)，這對(duì)于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)開發(fā)起到重要作用。

2．增加獲取信息的種類與數(shù)量

通過SEM能夠收集到多種信號(hào)，且此系列產(chǎn)品最多可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測器的信號(hào)。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息。

此外，為一次性獲取大量信息，像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x 30,720（選配），是之前型號(hào)的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評(píng)估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

3．增強(qiáng)信號(hào)檢測能力

SU8600開發(fā)了多個(gè)新型選配檢測器，加強(qiáng)了對(duì)凹凸信息、發(fā)光信息的檢測能力。此外，還提高了背散射電子信號(hào)檢測的響應(yīng)速度。