目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>清洗系列>>等離子清洗機(jī)>> GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
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GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的一致性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 主要參數(shù) | ● 工作環(huán)境：溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH |
| RF發(fā)生器 | ● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV |
| 輸入氣體氣壓，工作氣體 | ● 40 PSI min.(0.055 Mpa) |
| 樣品臺和控制柜 | ● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，采用SBC控制盒控制 |
| 外形尺寸 | 處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H |
| 凈重 | 55kg |
| 文獻(xiàn) | 請點擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息：常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長薄膜。 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀
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