目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>清洗系列>>等離子清洗機(jī)>> PDC-36G 等離子清洗機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
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| 功能特點(diǎn) |
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| 技術(shù)參數(shù) | |
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| 主要參數(shù) |
● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W ● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W ● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz ● 等離子直流電源 ● 輸入電壓：220V,50Hz
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| 等離子腔室 |
● 直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟 ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長
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| 真空計(jì) | ● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。
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| 可選配件 |
● 您可以訂購額外的石英腔體，用于備用 ● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情） ● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片 ●
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| 真空泵和閥 |
● 此設(shè)備不包含真空泵 ● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息 ●
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| 工作氣體 |
● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體 ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體
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等離子清洗及刻蝕的方法 |
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| 外形尺寸 |
353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
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| 凈重 |
8kg（不含泵）
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| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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| 工作原理 |
等離子清洗機(jī)工作原理 |
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