目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>薄膜制備設(shè)備>>等離子鍍膜設(shè)備>> GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
|---|
GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的最-簡單、可靠、
經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。
因此，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
| 功能特點(diǎn) |
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設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，
以獲得最佳鍍膜效果。
鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
已通過CE認(rèn)證。
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） | ||
| 工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通風(fēng)裝置 | 不需要 | ||
| 靶 | ?45mm | ||
| 真空室 | ?160mm×120mm | ||
| 最高真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
| 靶位 | 3個(gè) | ||
| 最大電流 | 50mA | ||
| 可設(shè)定最長時(shí)間 | 900s | ||
| 微型真空氣閥 | 連接?3mm軟管 | ||
| 最高電壓 | 1600V DC | ||
| 機(jī)械泵 | 2L/s | ||
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
| 2 | 銀靶材 | 1個(gè) | |
| 3 | 鋁靶材 | 1個(gè) | |
| 4 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
| 5 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀
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