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能研8745 - 氣體流量控制器的使用說明
閱讀：652 發(fā)布時間：2024-5-22以下是一份氣體質量流量控制器的一般使用說明：
一、安裝
1. 選擇合適的安裝位置，確保環(huán)境溫度、濕度等符合設備要求。
2. 按照設備手冊正確連接氣體入口和出口管路，注意密封良好。
二、預熱
在使用或長時間未使用后，需進行適當時間的預熱，以確保測量準確性。
三、設置與操作
1. 通過控制面板或配套軟件設置所需的流量值。
2. 可根據(jù)需要選擇不同的單位（如 SCCM、SLPM 等）。
3. 確認設定的氣體類型與實際使用的氣體相符。
四、運行與監(jiān)測
1. 開啟氣體供應，觀察流量顯示是否穩(wěn)定在設定值附近。
2. 定期檢查顯示數(shù)值與實際需求是否一致。
五、維護與保養(yǎng)
1. 定期清潔設備表面，防止灰塵等雜質影響性能。
2. 按照規(guī)定的時間間隔進行校準，以保證測量精度。
3. 如發(fā)現(xiàn)故障或異常，應及時停止使用并聯(lián)系專業(yè)人員維修。
六、注意事項
1. 嚴格按照設備規(guī)定的壓力、溫度范圍操作。
2. 避免強烈震動和沖擊。
3. 對不同氣體可能需要特定的使用要求，務必遵循相關規(guī)定。