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詳細(xì)介紹
日本filmetrics板厚測(cè)量系統(tǒng)F3-sX
主要特點(diǎn)
高精度測(cè)量硅基板和玻璃基板的厚度
配備自主研發(fā)的高波長(zhǎng)分辨率分光鏡！可測(cè)量高達(dá) 3 mm 的厚膜
10 μm 的小光斑直徑可以測(cè)量粗糙和不均勻的薄膜。
通過添加自動(dòng)平臺(tái)輕松測(cè)量面內(nèi)分布
可以高精度測(cè)量硅基板和玻璃基板的厚度。
通過安裝初開發(fā)的具有高波長(zhǎng)分辨率的光譜儀，可以測(cè)量高達(dá) 3 mm 的厚膜。
憑借 10 μm 的小光斑直徑，可以測(cè)量粗糙和不均勻的薄膜。
通過添加自動(dòng)載物臺(tái)，可以輕松測(cè)量面內(nèi)分布。
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體平板顯示器
| 硅基板、LT基板、Ti基板等的厚度測(cè)量 |
| 測(cè)量玻璃基板厚度和氣隙 |
產(chǎn)品陣容
模型F3-s980F3-s1310F3-s1550測(cè)量波長(zhǎng)范圍
（玻璃基板）性測(cè)量光斑直徑
膜厚測(cè)量范圍
（Si 基板）
（玻璃基板）性測(cè)量光斑直徑
| 960 – 1000nm | 1280 – 1340nm | 1520 – 1580nm |
| 4 微米 – 350 微米 | 7 微米 – 1 毫米 | 10 微米 – 1.3 毫米 |
| 10 微米 – 1 毫米 | 15 微米 – 2 毫米 | 25 微米 – 3 毫米 |
| ± 0.4% 薄膜厚度 | ||
| 10微米 | ||
*取決于樣品和測(cè)量條件
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