尼康晶圓，NWL200系列

功能齊全的NWL200機(jī)型支持通過(guò)光學(xué)顯微鏡或圖像測(cè)量?jī)x（如Nikon NEXIV），對(duì)直徑為6英寸（150mm）和8英寸（200mm）的半導(dǎo)體晶圓的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和材料進(jìn)行quan方位檢測(cè)。

復(fù)雜、可靠的裝載機(jī)處理各種晶圓

chao強(qiáng)的半導(dǎo)體晶圓裝載機(jī)系列，能夠?qū)⒅睆綖?英寸（150mm）和8英寸（200mm）的晶圓轉(zhuǎn)移到厚度為100微米（工廠制造選項(xiàng)）的尼康Eclipse L200N和LV150N顯微鏡或NEXIV VMZ-S視頻測(cè)量?jī)x器上。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高可靠性

例如，當(dāng)電源意外中斷時(shí)，宏支臂的真空卡盤(pán)保持激活狀態(tài)，允許安全取出晶圓。

宏觀檢查功能

支持半導(dǎo)體晶圓前圖案?jìng)?cè)、后周邊和中心區(qū)域檢測(cè)?？勺詣?dòng)或手動(dòng)設(shè)置晶圓旋轉(zhuǎn)速度和傾斜角度。

專為zui大產(chǎn)量而設(shè)計(jì)

帶有非接觸式定心機(jī)構(gòu)的快速晶圓盒升降器可使用多支臂系統(tǒng)jing確快速對(duì)齊晶圓，以zui高精度裝載和卸載晶圓。

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)理念

NWL200符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，易于操作和控制。

向左轉(zhuǎn)35度時(shí)，輕松進(jìn)行晶圓入槽定位和全盒交換。

核心功能