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超聲波在液體中非常易于傳播。超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
實時信號輸出，可以用于在線過程控制，可以和顯示器，記錄儀，電腦連接。同時也不會對溶液造成污染，易于維護。
♦產(chǎn)品描述 ：
超聲波液體濃度計 單成分用半導體制造程序選件FUD-1 Model-12/1006
♦測量原理：
超聲波在液體中非常易于傳播。 超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。「濃度變化」→ 「密度變化」→「音速變化」本產(chǎn)品利用超聲波的特性，高精度的測量溶液的濃度。測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示。
♦示意圖：
日本富士FUJI超聲波濃度計產(chǎn)品用途：
CMP泥漿濃度或者CMP泥漿濃度中的H2O2的濃度測量洗凈液濃度測量（（HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、IPA等）稀釋裝置濃度測量（HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、H2SO4、HCI、HNO3等）蝕刻過程中的濃度測量（HF、H2SO4 等）
日本富士FUJI超聲波濃度計產(chǎn)品特長：
- 可根據(jù)檢量線的交換測量各種半導體藥液的濃度。
- 發(fā)信器小型、輕量，可直接在線裝置。
- 免保養(yǎng)設計。
- 接液部分全部采用（PFA)材料。
- 小型輸出設計，對藥液沒有影響。
產(chǎn)品規(guī)格：
形號 | FUD-1 Model-12／Model-1006 |
測定參數(shù) | 超聲波傳播速度、溫度 |
表示 | LCD（濃度、溫度、音速/各種參數(shù)） |
輸出信號 | 模擬 DC4～20mA（可對應濃度值自由設定） 數(shù)字 RS232C（濃度、溫度、音速。錯誤代碼） 警報 上?上上?下?下下限 測量異常 |
電源 | AC100V～240V 50/60Hz |
構造 | 配電盤支架型（DIN規(guī)格基準）?盤內(nèi)設置型（根據(jù)選件可做防雨型） |
周邊溫度 | 0～50℃ RH85%以下（不結冰時） 0～100℃ 特別規(guī)格 -10～160℃（100℃幅） |
功能 | 輸出范圍設定、輸出警報設定、濃度表示移動平均、濃度表示偏移數(shù)據(jù)以及增值設定功能、自我診斷功能、安全裝置功能、取消異常值 RS485輸出（不能和RS232C同時輸出） |
選件 | 溫度輸出（DC4～20mA） |
波道 | 大10ch |
適合發(fā)信器 | Model-12：SA-20S7／SA-20S9／SA-20M5 |
Model-1006：SA-20S9 |
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