PLUTO-30型等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī),等離子去膠機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。
PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統(tǒng)
中小型 量產(chǎn)級(jí) 多功能
PLUTO-30型等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī),等離子去膠機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。
PLUTO-30型等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)特征及優(yōu)勢(shì)
氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
射頻系統(tǒng)提供的工藝重復(fù)性和處理效率
全自動(dòng)處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息
臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積
典型應(yīng)用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性：預(yù)壓模粘合；預(yù)焊線粘合
增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性：預(yù)成型；預(yù)倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應(yīng)力，改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層（配備液體前體輸送裝置）
耐水納米涂層：印刷電路板表面處理
防腐納米涂層：醫(yī)療器械，醫(yī)療植入物
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