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上海沛沅儀器設(shè)備有限公司

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小型等離子去膠機廠家

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品牌
型號 PLUTO-MD(8L)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 上海市

屬性

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更新時間：2024-10-17 16:04:13瀏覽次數(shù)：4725評價

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產(chǎn)品分類品牌分類

小型等離子清洗機

實驗室小型等離子清洗機

定制型等離子清洗機

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產(chǎn)品簡介

小型等離子去膠機廠家的這款產(chǎn)品使用性能出色的組件和軟件，可對工藝參數(shù)進行精確控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實現(xiàn)嚴格的質(zhì)量控制。內(nèi)置雙層氣浴電極，有效提高清洗效率。配有節(jié)流閥，防止真空泵油霧回流。

詳細介紹

PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機介紹：

　　去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程，在電子束曝光，紫外曝光等微納米加工工藝后，都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題，將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件，可對工藝參數(shù)進行精確控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實現(xiàn)嚴格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。

等離子去膠機

　　PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機特點：

　　1. 桌面型，普通實驗臺即可安置。操作簡便上手快、使用成本極低、易于維護。

　　2.適合于4~6寸硅片及相同面積去膠，可選配硅片專用托盤。

　　3.內(nèi)置雙層氣浴電極，有效提高清洗效率。配有節(jié)流閥，防止真空泵油霧回流?？蛇x配耐用電極，降低長時間使用后的腔體污染。

　　4.配置200W/13.56MHz等離子發(fā)生器。兼顧物理作用和化學(xué)作用。

　　5.具備前后吹掃功能，保證樣品處理潔凈度，可配置獨立吹掃氣路。

　　6.可選配電極間距可調(diào)，對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。

PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機參數(shù)：

小型等離子去膠機應(yīng)用：

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