目錄:上海沛沅儀器設(shè)備有限公司>>小型等離子清洗機(jī)>>實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗機(jī)>> PLUTO-MD(8L)等離子去膠機(jī)廠家
PLUTO-MD小型等離子去膠機(jī)參數(shù) | |
真空腔 | 不銹鋼腔體,ф210mm*230mm |
電極 | 兩個(gè)自適應(yīng)平板電極,材質(zhì): 6061-T6鋁合金 |
電極尺寸 | 125*125mm,間距20-75mm可調(diào) |
等離子體發(fā)生器 | RF射頻發(fā)生器,頻率: 13.56MHz; 自適應(yīng)阻抗匹配電源 |
功率 | 0-200W連續(xù)可調(diào),精度1W |
氣體控制 | 2路,針式氣體流量閥, 0-300ml |
工藝氣體要求 | 1/4英寸卡套接口/15~30 psig |
工藝氣體種類 | CF4=99.97%; 02=99.996%; N2=99.99%;Ar=99.999%;其余氣體請咨詢! |
控制方式 | 4.3寸工業(yè)控制觸摸屏;控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài) |
保護(hù)裝置 | 一鍵急停保護(hù)按鈕 |
外部尺寸 | 404*640*615mm |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)