光刻機(jī)芯片冷卻水冷式冷水機(jī)

產(chǎn)品說(shuō)明：

1.壓縮機(jī)超高能效、低噪音、制冷量大；壓縮機(jī)延時(shí)啟動(dòng)，內(nèi)外皆置安全保護(hù)，性能穩(wěn)定 ；

2.冷凍機(jī)渦流水泵；不堵塞、起動(dòng)扭矩大、密封性好；

3.水箱式蒸發(fā)器內(nèi)置自動(dòng)補(bǔ)水裝置，方便安裝及保養(yǎng)，適用于大溫差小流量等特殊場(chǎng)合；

4.冷凝器為套管或者殼管式，內(nèi)鋪銅管，換熱效果好；

5.壓縮機(jī)小于或者等于6hp用毛細(xì)管；大于6hp則用美國(guó)艾可和丹麥丹佛斯膨脹閥（多機(jī)頭除外）；

6.電腦PC板，觸摸式控制，安全方便；

7.內(nèi)置外覆絕熱材料的不銹鋼水箱1個(gè)；

8.施耐德電器；LAE溫控，溫度3～50℃范圍內(nèi)可控可調(diào)，溫差：±1℃；R22冷媒；

9.安全保護(hù)系統(tǒng)

壓縮機(jī)延時(shí)起動(dòng)保護(hù)

冰水泵過(guò)載及指示燈

壓縮機(jī)過(guò)載保護(hù)

馬達(dá)反轉(zhuǎn)保護(hù)及指示燈

壓縮機(jī)過(guò)載保護(hù)及指示燈

冷媒不足保護(hù)及指示燈

冷媒高壓安全閥

散熱不良保護(hù)及指示燈

故障警報(bào)蜂鳴器

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機(jī)組一般是在標(biāo)準(zhǔn)工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運(yùn)行的。對(duì)于同一臺(tái)冷水機(jī)組來(lái)說(shuō)，其運(yùn)行條件不變，外界負(fù)荷一定的情況下，冷水機(jī)組的制冷量是一定的。此時(shí)，通過(guò)蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越小；反之，流量越小，溫差越大。所以，冷水機(jī)組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃，這實(shí)際上是規(guī)定了機(jī)組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過(guò)蒸發(fā)器的太力降。

　　在標(biāo)準(zhǔn)工況下，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開(kāi)度，和蒸發(fā)器供、回水閥門開(kāi)度。閥門開(kāi)度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來(lái)克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力；機(jī)組在負(fù)擔(dān)設(shè)計(jì)負(fù)荷的情況下運(yùn)行，蒸發(fā)器進(jìn)、出水溫差為5℃。此時(shí)進(jìn)、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門開(kāi)度大小就應(yīng)相對(duì)穩(wěn)定不變。即使在非調(diào)定工況下運(yùn)行（如卸載運(yùn)行）旱，各閥門也應(yīng)相對(duì)穩(wěn)定不變。應(yīng)當(dāng)注意，全開(kāi)閥門加大冷水流量，減少進(jìn)、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會(huì)使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高，機(jī)組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發(fā)器冷水側(cè)進(jìn)、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來(lái)說(shuō)，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來(lái)判別。然后通過(guò)控制冷水泵出水閥的開(kāi)度，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力。將出水閥開(kāi)度關(guān)小，則冷水泵背壓提高，通過(guò)水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時(shí)蒸發(fā)器的供水壓力下降，但該壓力無(wú)論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機(jī)組的運(yùn)行安全，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會(huì)像冷凝器那樣嚴(yán)重，但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā)，應(yīng)每年對(duì)蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。

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