AFM FFAF030 流量計(jì)

BRR是掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡的統(tǒng)一。
它結(jié)合了兩個(gè)方面的特性，而不會(huì)影響兩個(gè)組件的性能。此外，新系統(tǒng)比單個(gè)系統(tǒng)具有更多優(yōu)勢(shì)。我們實(shí)現(xiàn)組合式SEM-SPM系統(tǒng)的方法是基于將兼容真空的SPM集成到現(xiàn)有SEM系統(tǒng)中。選擇該組合以達(dá)到系統(tǒng)的性能和可用性。該策略的另一個(gè)好處是可以將現(xiàn)有的SEM系統(tǒng)升級(jí)為SEM-SPM組合系統(tǒng)。在這兩種情況下，SEM的功能均不受限制，因此可以進(jìn)行SEM / SPM組合測(cè)量

AFM FFAF030 流量計(jì)

DME建立的該系統(tǒng)是 MERLIN電子顯微鏡和AURIGA Crossbeam工作站的SEM-AFM集成 。也可以隨時(shí)對(duì)現(xiàn)有系統(tǒng)進(jìn)行改造。該系統(tǒng)通過將DME開發(fā)的SPM集成到蔡司AURIGA系統(tǒng)中來(lái)實(shí)現(xiàn)。在該系統(tǒng)中，將SEM，F(xiàn)IB和SPM結(jié)合在一起并可以在組合測(cè)量中執(zhí)行??。SPM安裝在特別設(shè)計(jì)的平臺(tái)上，該平臺(tái)可進(jìn)行垂直和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。該階段是AFM主門的一部分（請(qǐng)參見左圖）。在此設(shè)置中，SPM可以與FIB電子束交叉點(diǎn)對(duì)齊，并繞其旋轉(zhuǎn)大約75°的角度。這使操作員可以將電子束或FIB垂直于樣品表面對(duì)齊。整個(gè)SPM的旋轉(zhuǎn)開辟了使用市售Si和SiN SPM探針的可能性，因?yàn)榭梢詮膫?cè)面角度用SEM觀察（參見右圖）。借助SEM的自由視野，可以將SPM定位到在SEM下以nm精度進(jìn)行整體觀察的目標(biāo)區(qū)域。從垂直于樣品的觀察位置來(lái)看，SPM上的觀察被懸臂本身遮擋了。可以將SPM定位到在SEM進(jìn)行整體觀察的情況下感興趣的區(qū)域。

好用的流量計(jì)在這里 BREMAS VXCR0250007GT6 工控凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 BEP 2380-RPP-GOLD14M-40 
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-MS11LG-H00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-520-040 DW-AS-604-M8-001
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-BT11RM-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 EUROTEK ET/RF 3130-FTF 備件
好用的流量計(jì)在這里 kistler 6157BA 壓力傳感器
好用的流量計(jì)在這里 Rexroth A4VSO250EO2/30R-VPB13N00-SO2 
好用的流量計(jì)在這里 ATOS DKZOR-AES-PS-171-L5/I 油壓傳動(dòng)閥
好用的流量計(jì)在這里 Turck SKP3-1-SSP3/S90 Nr:8008683 電纜
好用的流量計(jì)在這里 Eltako FGW14 可編程控制器
好用的流量計(jì)在這里 Hawe AC40-1/4-250 油壓傳動(dòng)閥
好用的流量計(jì)在這里 weidmueller 1964290150 電纜
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11W2-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Kraus & Naimer PC74718 
好用的流量計(jì)在這里 CEJN 103105063 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Male PI4208PSVST25V2A/K197 783.710.7 濾芯
好用的流量計(jì)在這里 E-T-A 3120-F321-P7T1-WO2A 6A AC240V DC50V 自動(dòng)控制器
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 620-000-573 LTK-4150-104
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI SPPC15501 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 HAHN+KOLB 75534010 工業(yè)型干濕吸塵器
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI SV260724 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI CTD5S1505AXXX 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-520-577 DW-AV-513-M8-276
好用的流量計(jì)在這里 NORELEM NLM 07111-10610 備件
好用的流量計(jì)在這里 GUTEKUNST D-085D 彈簧
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21K-BT02RT-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS31L-PT30RT-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS43L-PT02LB-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 620-100-314 LLS-5050-000
好用的流量計(jì)在這里 Phoenix SACB-8/ 8-L- 5,0PUR     Nr.1695168 總線模塊
好用的流量計(jì)在這里 PILZ PSEN2.1P-10 512110 備件
好用的流量計(jì)在這里 MEGATRON Elektronik AG & Co XKZA15 4K7-TC+ 電位計(jì)
好用的流量計(jì)在這里 MAGNEMAG MM0531 沖印螺母
好用的流量計(jì)在這里 WERNER 4030-5000-434 打號(hào)機(jī)控制器
好用的流量計(jì)在這里 CEJN 102915131 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI FUR-FARR25-20 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 ROFIN-LASAGLASERS 330771 電源3
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 605-000-692 CSS-1181-213
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI FKA03A12853 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 SCHMALZ 10.01.06.03737 備件
好用的流量計(jì)在這里 CALPEDA 61110311000 工控凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 KTR GR-75(161/81/30) 
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI ICS05S23F15A2NO 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-MT20W0-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 FLUID-TEAM MDFVA-06-SCCA-LWN 油壓傳動(dòng)閥
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI CONB15NF-S2 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 BREMAS VXE40000II 工控凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PMT20I 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS31L-NT11P0-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 MTS RHM0450MD701S2G2101 傳感器
好用的流量計(jì)在這里 FUNKE+HUSTER EV21  230V 50HZ/60HZ 105DB IP54  30MA 報(bào)警器
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS42L-MO11BM-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-520-745 DW-AS-50A-P12
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI AMB30-S 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Phonix Contact  2961192 REL-MR- 24DC/21-21 
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI RGS1A60D92KKE 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Bürklin 52 F 1152 插座
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 220-820-831 DW-DS-615-M8
好用的流量計(jì)在這里 CEJN 199402120 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 Turck WAK4-10/P00 Nr:8007060 電纜
好用的流量計(jì)在這里 Mayr 120/899.012.11 電磁制動(dòng)器
好用的流量計(jì)在這里 engler M60.1.B4.195.01.01.1.70O 液位傳感器
好用的流量計(jì)在這里 BERNSTEIN 6062220019 F2-U2ZD/U2ZD Interruttore a pedale
好用的流量計(jì)在這里 ODU 611.021.011.600.000 插頭鋁框
好用的流量計(jì)在這里 HYDAC EDS346-3-400-000 開關(guān)
好用的流量計(jì)在這里 LIMAN B-059-01-003-09  A-672-17-002-03  K-800-00-697 靜電噴漆設(shè)備零件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-820-640 DW-AD-613-M12-126
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI FUDC8A1KVPV 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21S-NT0205-T00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 hydac 0850  R 003 BN4HC 濾芯
好用的流量計(jì)在這里 LABOM GMBH Order Code CE6120-A1058-K1010-T110-H1  0-10bar 24VDC 壓力傳感器
好用的流量計(jì)在這里 SCHUNK 308640 機(jī)械手
好用的流量計(jì)在這里 Goetze 76.90 H-60 NB60 11000104 機(jī)械密封
好用的流量計(jì)在這里 ITW A12071-00 飛濺盤組件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 220-820-891 DW-AS-628-M18-069
好用的流量計(jì)在這里 parker PGP517A0140CT1D7NL3L2B1B1 3339111503 齒輪泵
好用的流量計(jì)在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11PR-M00 凱盛源供應(yīng)備件
好用的流量計(jì)在這里 CONTRINEX 320-620-041 DW-AS-602-065
 

• 基于DME UHV AFM和卡爾·蔡司AURIGA®橫梁工作站。
• SEM和FIB的交叉點(diǎn)位于懸臂。樣品掃描儀的設(shè)計(jì)允許在空間和樣品上*相同的點(diǎn)對(duì)所有三種技術(shù)進(jìn)行組合測(cè)量。
• 極其穩(wěn)定的掃描單元，專為三維單原子分辨率而設(shè)計(jì)
• 掃描儀規(guī)格：掃描范圍（x，y，z）10 µm x 10 µm x 1 µm，在所有三個(gè)維度上的真實(shí)分辨率亞原子
• SEM和AFM組件的單一軟件界面
• AFM和SEM圖像的通用數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
• SEM視角從0°到85°，同時(shí)保持小SEM工作距離為5 mm
• FIB可以在0°和54°的位置達(dá)到懸臂和樣品，并通過FIB進(jìn)行原位銳化
• 通過用戶可更換的SEM門，支持在AFM和標(biāo)準(zhǔn)Auriga®功能之間輕松切換
• 通過使用所有標(biāo)準(zhǔn)AFM懸臂實(shí)現(xiàn)無(wú)限功能，無(wú)需有源探頭
• 支持所有常見的AFM操作模式
• 懸臂更換時(shí)自動(dòng)進(jìn)行激光/探測(cè)器對(duì)準(zhǔn)
• 通過簡(jiǎn)單的門更換就可以將現(xiàn)有的Auriga®SEM更新為BRR功能