AFM FFAF030 流量計

BRR是掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡的統(tǒng)一。
它結(jié)合了兩個方面的特性，而不會影響兩個組件的性能。此外，新系統(tǒng)比單個系統(tǒng)具有更多優(yōu)勢。我們實現(xiàn)組合式SEM-SPM系統(tǒng)的方法是基于將兼容真空的SPM集成到現(xiàn)有SEM系統(tǒng)中。選擇該組合以達到系統(tǒng)的性能和可用性。該策略的另一個好處是可以將現(xiàn)有的SEM系統(tǒng)升級為SEM-SPM組合系統(tǒng)。在這兩種情況下，SEM的功能均不受限制，因此可以進行SEM / SPM組合測量

AFM FFAF030 流量計

DME建立的該系統(tǒng)是 MERLIN電子顯微鏡和AURIGA Crossbeam工作站的SEM-AFM集成 。也可以隨時對現(xiàn)有系統(tǒng)進行改造。該系統(tǒng)通過將DME開發(fā)的SPM集成到蔡司AURIGA系統(tǒng)中來實現(xiàn)。在該系統(tǒng)中，將SEM，F(xiàn)IB和SPM結(jié)合在一起并可以在組合測量中執(zhí)行??。SPM安裝在特別設計的平臺上，該平臺可進行垂直和旋轉(zhuǎn)運動。該階段是AFM主門的一部分（請參見左圖）。在此設置中，SPM可以與FIB電子束交叉點對齊，并繞其旋轉(zhuǎn)大約75°的角度。這使操作員可以將電子束或FIB垂直于樣品表面對齊。整個SPM的旋轉(zhuǎn)開辟了使用市售Si和SiN SPM探針的可能性，因為可以從側(cè)面角度用SEM觀察（參見右圖）。借助SEM的自由視野，可以將SPM定位到在SEM下以nm精度進行整體觀察的目標區(qū)域。從垂直于樣品的觀察位置來看，SPM上的觀察被懸臂本身遮擋了?？梢詫PM定位到在SEM進行整體觀察的情況下感興趣的區(qū)域。

好用的流量計在這里 BREMAS VXCR0250007GT6 工控凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 BEP 2380-RPP-GOLD14M-40 
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-MS11LG-H00 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 CONTRINEX 320-520-040 DW-AS-604-M8-001
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-BT11RM-M00 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 EUROTEK ET/RF 3130-FTF 備件
好用的流量計在這里 kistler 6157BA 壓力傳感器
好用的流量計在這里 Rexroth A4VSO250EO2/30R-VPB13N00-SO2 
好用的流量計在這里 ATOS DKZOR-AES-PS-171-L5/I 油壓傳動閥
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好用的流量計在這里 Eltako FGW14 可編程控制器
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好用的流量計在這里 weidmueller 1964290150 電纜
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11W2-M00 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 Kraus & Naimer PC74718 
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好用的流量計在這里 CONTRINEX 620-000-573 LTK-4150-104
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI SPPC15501 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 HAHN+KOLB 75534010 工業(yè)型干濕吸塵器
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好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI CTD5S1505AXXX 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 CONTRINEX 320-520-577 DW-AV-513-M8-276
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好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS43L-PT02LB-M00 凱盛源供應備件
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好用的流量計在這里 WERNER 4030-5000-434 打號機控制器
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好用的流量計在這里 ROFIN-LASAGLASERS 330771 電源3
好用的流量計在這里 CONTRINEX 605-000-692 CSS-1181-213
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI FKA03A12853 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 SCHMALZ 10.01.06.03737 備件
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好用的流量計在這里 KTR GR-75(161/81/30) 
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI ICS05S23F15A2NO 凱盛源供應備件
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好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS42L-MO11BM-M00 凱盛源供應備件
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好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI AMB30-S 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 Phonix Contact  2961192 REL-MR- 24DC/21-21 
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI RGS1A60D92KKE 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 Bürklin 52 F 1152 插座
好用的流量計在這里 CONTRINEX 220-820-831 DW-DS-615-M8
好用的流量計在這里 CEJN 199402120 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 Turck WAK4-10/P00 Nr:8007060 電纜
好用的流量計在這里 Mayr 120/899.012.11 電磁制動器
好用的流量計在這里 engler M60.1.B4.195.01.01.1.70O 液位傳感器
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好用的流量計在這里 HYDAC EDS346-3-400-000 開關
好用的流量計在這里 LIMAN B-059-01-003-09  A-672-17-002-03  K-800-00-697 靜電噴漆設備零件
好用的流量計在這里 CONTRINEX 320-820-640 DW-AD-613-M12-126
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI FUDC8A1KVPV 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS21S-NT0205-T00 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 hydac 0850  R 003 BN4HC 濾芯
好用的流量計在這里 LABOM GMBH Order Code CE6120-A1058-K1010-T110-H1  0-10bar 24VDC 壓力傳感器
好用的流量計在這里 SCHUNK 308640 機械手
好用的流量計在這里 Goetze 76.90 H-60 NB60 11000104 機械密封
好用的流量計在這里 ITW A12071-00 飛濺盤組件
好用的流量計在這里 CONTRINEX 220-820-891 DW-AS-628-M18-069
好用的流量計在這里 parker PGP517A0140CT1D7NL3L2B1B1 3339111503 齒輪泵
好用的流量計在這里 CARLO GAVAZZI PS21L-NT11PR-M00 凱盛源供應備件
好用的流量計在這里 CONTRINEX 320-620-041 DW-AS-602-065
 

• 基于DME UHV AFM和卡爾·蔡司AURIGA®橫梁工作站。
• SEM和FIB的交叉點位于懸臂。樣品掃描儀的設計允許在空間和樣品上*相同的點對所有三種技術(shù)進行組合測量。
• 極其穩(wěn)定的掃描單元，專為三維單原子分辨率而設計
• 掃描儀規(guī)格：掃描范圍（x，y，z）10 µm x 10 µm x 1 µm，在所有三個維度上的真實分辨率亞原子
• SEM和AFM組件的單一軟件界面
• AFM和SEM圖像的通用數(shù)據(jù)存儲
• SEM視角從0°到85°，同時保持小SEM工作距離為5 mm
• FIB可以在0°和54°的位置達到懸臂和樣品，并通過FIB進行原位銳化
• 通過用戶可更換的SEM門，支持在AFM和標準Auriga®功能之間輕松切換
• 通過使用所有標準AFM懸臂實現(xiàn)無限功能，無需有源探頭
• 支持所有常見的AFM操作模式
• 懸臂更換時自動進行激光/探測器對準
• 通過簡單的門更換就可以將現(xiàn)有的Auriga®SEM更新為BRR功能