1100℃ 1500℃ 高溫真空探針臺溫度穩(wěn)定±1℃
樣品臺26x26mm 同時可用于光學(xué)測試電學(xué)測試
光學(xué)反射透窗距樣品間距9mm
可擴展透視窗透孔2mm
電學(xué)測試4探針 外接3同軸bnc
腔體不銹鋼材質(zhì) 180x90x37mm上下面水冷
該腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。
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