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射頻離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置，在高頻電場中，自由電子與氣體中的原子（或分子）碰撞，并使之電離。

射頻寬波束離子源

RF/F 40 RF/I 40

圖1 射頻寬波束離子源

射頻離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置，在高頻電場中，自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞，并使之電離。帶電粒子倍增的結(jié)果，形成無極放電，產(chǎn)生大量等離子體，高頻場可若管外螺線管線圈產(chǎn)生，則者稱為電感耦合。

1. RF40使用簡單、緊湊的電感功率耦合的無燈絲源，配備特殊電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，所有的惰性氣體以及氧氣等活性氣體均可適用于離子源，柵網(wǎng)系統(tǒng)有多種形狀與材料。

2. RF40安裝在儀器內(nèi)部和外部均可，使用功能陶瓷，維護(hù)方便快捷，工作壽命長，射頻電源通過50歐姆電纜提供，不需要額外的匹配單元。

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圖2 射頻寬波束離子源尺寸布局

參數(shù)	RF/F40	RF/I40
類型	外部法蘭安裝射頻激勵離子源多孔徑提取柵網(wǎng)	內(nèi)部安裝射頻激勵離子源多孔徑提取柵網(wǎng)
源材料	放電管：Al₂O₃ 柵網(wǎng)：C或Mo 射頻線圈：鍍銀和水冷銅永磁體：AlNiCo 外殼：不銹鋼射頻匹配元件：Cu和Al₂O₃
柵網(wǎng)類型	2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng) 3種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)
型號	參見上圖（無中和器）
重量	約1.8kg	約1.2kg
法蘭	DN 100 CF	3個DN 40 CF介質(zhì)引線
RF電源	~75 to 300 W at 13.56 MHz
離子電流	最大50 mA（取決于柵網(wǎng)類型和運(yùn)行條件）
離子能量	50 到 2000 eV
加速電壓	0 –1000 V
過程氣體	惰性氣體，O₂，N₂，CXHY（無限制）含鹵素氣體（減少柵壽命）
氣流流量	1 -10 sccm 接頭：6 mm Swagelock	1 -10 sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空）
冷卻水	1.5L/min	1.5L/min
電連接	射頻：同軸N型直流：BNC	射頻：同軸N型（空氣和真空） DC:BNC（空氣側(cè)），電源接通（真空側(cè)）0.5米真空電纜