半導體行業(yè)低相位差高速檢查設備　RE-200

半導體行業(yè)低相位差高速檢查設備適用于光軸的高精度管理！ 3σ≦0.02°

低相位差測量

產品信息

特 點

• 可測從0nm開始的低（殘留）相位差
• 光軸檢出同時可高速測量相位差(Re.)
（相當于0.1秒以下來處理）
• 無驅動部，重復再現(xiàn)性高
• 設置的測量項目少，測量簡單
• 測量波長除了550nm以外，還有各種波長
• Rth測量、方位角測量
（需要option的自動旋轉傾斜治具
• 通過與拉伸試驗機組合，可同時評價膜的偏光特性和光弾性
 (本系統(tǒng)屬特注。）

測量項目

• 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
• 主軸方位角（θ[deg.]）
• 橢圓率（ε）?方位角（γ）
• 三次元折射率（NxNyNz）

用　途

• 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
• 樹脂、玻璃等透明、非均質材料（玻璃有變形，歪曲等）

原　理

• 什么是RE-200
• RE-200是光子結晶素子（偏光素子）、CCD相機構成的偏光計測模塊和透過的偏光光學系相組合，可高速且高精度的測量位相差（相位差）、及主軸方位角。CCD相機1次快門獲取偏光強度模式，沒有偏光子旋轉的機構，系統(tǒng)整體上是屬于小型構造，長時間使用也能維持穩(wěn)定的性能。

仕　樣

 Option
• Rth測量、方位角測量※治具本體（旋轉：180°, 傾斜：±50°）
• 動旋轉傾斜治具