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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,印刷包裝,汽車,電氣 |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
OPTM series薄膜測厚儀
大塚電子薄膜測厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件
特點(diǎn)
- 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
- 通過顯微光譜法測量高精度反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）
- 1點(diǎn)1秒高速測量
- 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）
- 區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
- 易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
- 獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求
- 支持各種自定義
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn) | ||
光斑大小 | 10μm (小約5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規(guī)格 | 氘燈+鹵素?zé)? | 鹵素?zé)?/span> | |
電源規(guī)格 | AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格） | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分) | ||
重量 | 約 55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分） | ||
測量項(xiàng)目：
- 反射率測量
- 多層膜解析
- 光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）
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