雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品特點(diǎn)：

■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機(jī)型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗儀器，可對應(yīng)更多復(fù)雜工藝.
●標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計，實(shí)時顯示真空度，使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。
■安全性·保護(hù)
●標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護(hù)裝置。
●發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調(diào)低頻率來保護(hù)發(fā)生器。
●門鎖開關(guān)：門在未*關(guān)閉時無法啟動電源。
●側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時，會停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。
●當(dāng)裝置發(fā)生異常時，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進(jìn)行以下動作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應(yīng)更復(fù)雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。
●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對機(jī)器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機(jī)物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品參數(shù)：