氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

l 產(chǎn)品特點

l 經(jīng)濟適用

l 超低功耗

l 高集成度緊湊型設計

l 多種氣體校準

l RJ45（網(wǎng)口）通用接口

l 數(shù)字控制和模擬控制雙模式

l 標準RS485 Modbus RTU通信協(xié)議

l 模擬輸入1-5V/模擬輸出1-5V

l 采用進口高精度傳感器

l 采用進口比例閥控制

l 模糊PID算法，可更改PID控制參數(shù)

l 內(nèi)置環(huán)境氣壓傳感器

l 內(nèi)置環(huán)境溫度傳感器

l 高重復性

l 低溫度漂移

l 控制參數(shù)自整定功能

l 具有自動調零功能

l 電路防浪涌設計

l 具有故障報警功能

l 技術特點

l  微處理器控制

MFC內(nèi)部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速精確的流量控制。

l  RS-485總線接口

MFC內(nèi)置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式?？赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng)，實現(xiàn)多臺MFC同時控制。

l  便捷標定方法

可通過專用標定軟件對MFC進行標定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。

l  緊湊的外形尺寸

MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。

l  多氣體多量程選擇

MFC可選擇多種氣體種類（H2、N2、Air、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時，本公司提供不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進行選。

l 應用范圍

l 氣象色譜儀

l 環(huán)保監(jiān)測設備

l 制氣配氣

l CVD材料制備裝置

l 半導體/光伏設備

l 生物發(fā)酵/醫(yī)療儀器

l 其他實驗室分析儀器

l 技術參數(shù)

l 外形尺寸      

單位：毫米（mm）

l 接口定義

l 產(chǎn)品選型

感謝您購買使用吉思特GT180質量流量控制器(MFC)。

本手冊描述了GT180質量流量控制器功能、性能以及使用產(chǎn)品達到最佳使用效果的應用方法。

請在使用該產(chǎn)品時注意以下事項：

l  在使用該產(chǎn)品前應通讀并理解本手冊以確保正確的使用。

l  使用該產(chǎn)品人員應具有基本的電氣系統(tǒng)知識。

l  請妥善保管本手冊以確保在需要時可以隨時查閱。

注意事項

l  通電期間，請勿觸碰端子。

l  不得讓金屬物體、導線、液體等進入控制器，否則引起設備短路、觸電或火災等危險事件。

l  請勿將本產(chǎn)品置于易燃易爆等場合。

l  絕對不要拆卸、改裝以及修理該產(chǎn)品或解除任何內(nèi)部元件。

l  請設定適合系統(tǒng)控制使用的產(chǎn)品參數(shù)。如果設定不當，可能會因意外操作而造成財產(chǎn)損失或事故。

l  請在規(guī)定的時間內(nèi)對該設備進行標定，以確保設備的準確性。

l  設備通電前，請確認接線是否正確，供電電壓是否符合使用手冊要求。

l  使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時，須在氣路中加裝過濾器等。

l  使用前，請確認使用氣體是否與標定氣體相符，以免導致流量數(shù)據(jù)錯誤。

l  請勿使用腐蝕性氣體，以免MFC氣路損壞。

保修與服務

l  本公司生產(chǎn)的MFC產(chǎn)品在出貨1年以內(nèi)，如果用戶按照使用手冊正常使用，且產(chǎn)品沒有遭受物理損害、污染、改裝或翻新，若有問題，免費維修。

l  免費維修范圍，不包含氣路接頭及氣路接頭密封圈。

l  請收到產(chǎn)品后及時對產(chǎn)品進行驗收，出現(xiàn)問題請及時反饋銷售人員。

l  保修期內(nèi)，產(chǎn)品必須由本公司或授權的服務中心修理。

l  用戶使用過有毒、有污染或腐蝕性氣體的產(chǎn)品，本公司將不負責修理或保修。

l  輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過該產(chǎn)品要求的最大壓力。

l  產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效，由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于本公司。

l  禁止自行拆開MFC。如果自行拆卸造成損壞，則本公司承諾的保修無效。

天津吉思特儀器儀表有限公司