現(xiàn)如今,具有高分辨率的透射電鏡(TEM)和掃描電鏡(SEM)在材料分析研究中的應(yīng)用日趨廣泛,已經(jīng)成為現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室中一種*的研究晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的綜合儀器。
透射電鏡原理:
電子槍經(jīng)過加熱或者在強(qiáng)電場(chǎng)作用下發(fā)射出電子束,經(jīng)過聚光鏡匯聚到待測(cè)樣品的某一區(qū)域。透過樣品的電子強(qiáng)度分布與樣品的組織結(jié)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)。熒光屏將電子強(qiáng)度分布轉(zhuǎn)換為眼可見的光強(qiáng)分布。
由于物體上不同部位的結(jié)構(gòu)不同,它們散射電子的能力也各不相同,結(jié)果使透過樣品的電子束發(fā)生疏密的差別,在散射電子能力強(qiáng)的地方,透過去的電子數(shù)目少,因而打在熒光屏上所發(fā)出的光就弱,顯現(xiàn)為暗區(qū);而散射電子能力弱的地方,透過的電子數(shù)目多,打在熒光屏上所發(fā)出的光就強(qiáng),顯現(xiàn)為亮區(qū),這樣,便在終像上造成了有亮有暗的區(qū)域,因而出現(xiàn)了反差,人眼就可以辨別。
掃描電鏡原理:
掃描電鏡從電子槍中發(fā)射出的電子束,受到陽*壓加速射向鏡筒,經(jīng)過聚光鏡聚焦,在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度、斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場(chǎng)作用下,入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時(shí)間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。
在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。試樣表面信號(hào)強(qiáng)度與顯像管熒光屏亮度一一對(duì)應(yīng)。次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級(jí)電子,標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。
透射電鏡與掃描電鏡原理區(qū)別
1、利用的電子種類不同。任何一個(gè)物體都是由原子組成的,原子則是由原子核與軌道電子組成的。當(dāng)電子束照射到樣品上的時(shí)候,一部分電子能從原子與原子之間的空隙中穿透過去,其余的電子有一部分會(huì)與原子核或原子的軌道電子發(fā)生碰撞被散射開來;一部分電子從樣品表面被反射出來;還有一些電子是被樣品吸收以后,樣品激化而又從樣品本身反射出來等。透射電鏡收集的是透過樣品的電子,掃描電鏡是把從樣品表面反射出來的電子收集起來并使它們成像。
2、成像原理不同。掃描電鏡的成像原理和透射電鏡*不同。掃描電鏡不是通過電磁透鏡放大成像的原理,掃描電鏡的成像原理與電視或電照片的原理相似,由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)過三個(gè)磁透鏡的作用,形成一個(gè)很細(xì)的電子束,稱為電子探針。電子探針經(jīng)過透鏡聚焦到樣品表面上,按著順序逐行逐行地通過樣品,也就是對(duì)樣品掃描,然后把從樣品表面發(fā)射出來的各種電子(二次電子、反射電子等)用探測(cè)器收集起來,并轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏餍盘?hào)經(jīng)放大后再送到顯像管轉(zhuǎn)變成圖像。
3、觀察得到的圖像不同。掃描電鏡主要用來直接觀察樣品表面的立體結(jié)構(gòu),圖像富有立體感,但只能反映出樣品的表面形貌,無法顯示樣品內(nèi)部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。透射電鏡可以觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu),但是一般只能觀察切成薄片后的二維圖像,許多電子無法透過的較厚樣品,只能用掃描電鏡才能看到。