Sentech多層膜厚測量儀SENpro

Sentech多層膜厚測量儀SENpro具有操作簡單，測量速度快，能對不同入射角的橢偏測量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點。可測量1nm~15μm的薄膜。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合，可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。

步進(jìn)掃描分析器

Sentech多層膜厚測量儀SENpro具有*的步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過程中，偏振器和補償器固定，以提供高的橢偏測量精度。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學(xué)，5°步進(jìn)角度計，樣品臺、激光準(zhǔn)直器、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測器單元。

可變?nèi)肷浣?/font>

光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔嫞?0°—90°，步進(jìn)值5°，用于優(yōu)化橢偏測量。

SENpro配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ，用于包括建模，擬合和報告輸出。即使對于初學(xué)者，該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控制的用于均勻性測量的自動掃描。

SENpro專注于薄膜測量的速度和精度，不管是何種薄膜應(yīng)用。測量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。

對于各種各樣的應(yīng)用，SpectraRay/4都提供了預(yù)定義的配方。

可見光-近紅外段的光譜橢偏儀

光譜范圍：370 nm - 1050 nm

測量單層/多層膜的膜厚、折射率、消光系數(shù)

全光譜范圍測量時間<10秒（>500個波長點)可變?nèi)肷浣牵?0 - 90°，步進(jìn)值5°

高穩(wěn)定光源

步進(jìn)掃描起偏器

寬帶補償器

激光準(zhǔn)直器

可調(diào)高度/俯仰樣品臺

光電二極管陣列探測器

SpectraRay /4橢偏測量/分析軟件

可選項：

Mapping自動掃描：50 x50-200 x 200 mm2

自動準(zhǔn)直透鏡ACT

軟件SpectraRay/4

建模

測量參數(shù)可以模擬作為波長、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數(shù)的函數(shù)

自動掃描

我們光譜橢偏儀的自動掃描的選項具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計以及數(shù)據(jù)的圖形顯示，如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。

交互模式

設(shè)定測量參數(shù)并開始薄膜厚度測量

通過從材料庫或從已有的散射模型中拖放來構(gòu)建模型

定義和改變參數(shù)以將計算的光譜與實測光譜擬合

交互式改進(jìn)以實現(xiàn)模型

通過從預(yù)定義或定制的模板中進(jìn)行選擇，將結(jié)果作為word文檔報告輸出

將所有實驗數(shù)據(jù)、協(xié)議和記錄保存在同一個實驗文件中

配方模式

1.選擇

2.從材料庫執(zhí)行預(yù)定義的配方。

該配方包括厚度測量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報告模板。