液壓伺服閥是如何工作的？

彈簧對中式兩級電液伺服閥

彈簧對中式伺服閥是早期伺服閥的結(jié)構(gòu)型式，其結(jié)構(gòu)原理如圖5-14所示。它的第一級是雙噴嘴擋板閥，第二級是滑閥，閥芯兩端各有一根對中彈簧管。無控制電流輸入時，閥芯在對中彈簧作用下處于中位。當(dāng)有控制電流輸入時，對中彈簧力與噴嘴擋板閥輸出的液壓力相平衡，使閥芯取得一個相應(yīng)的位移，輸出相應(yīng)的流量。

這種伺服閥屬于開環(huán)控制，其性能受溫度、壓力及閥內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)變化的影響較大；銜鐵及擋板的位移都較大，對力矩馬達(dá)的線性要求較高；對中彈簧要求體積小、剛度大、抗疲勞好，因此制造困難；兩端對中彈簧由于制造和安裝上的誤差，易對閥芯產(chǎn)生側(cè)向卡緊力，增加閥芯摩擦力，使閥的滯環(huán)增大，分辨率降低。

射流管式兩級電液伺服閥

射流管由力矩馬達(dá)帶動偏轉(zhuǎn)。射流管焊接于銜鐵上，并由薄壁彈簧片支撐。液壓油通過柔性的供壓管進(jìn)入射流管，從射流管噴嘴噴射出的液壓油進(jìn)入與滑閥兩端控制腔別分相通的兩個接收孔中，推動閥芯移動。射流管的側(cè)面裝有彈簧板及反饋彈簧絲，其末端插入閥芯中間的小槽內(nèi)，閥芯移動推動反饋彈簧絲，構(gòu)成對力矩馬達(dá)的力反饋。力矩馬達(dá)借助于薄壁彈簧片實現(xiàn)對液壓部分的密封隔離。

射流管式伺服閥的優(yōu)點是抗污染能力強。缺點是動態(tài)響應(yīng)較慢，特性不易預(yù)測，力矩馬達(dá)結(jié)構(gòu)及工藝復(fù)雜，細(xì)長的射流管及柔性供壓管易出現(xiàn)結(jié)構(gòu)諧振。

偏轉(zhuǎn)板射流式兩級電液伺服閥

它由力矩馬達(dá)、偏轉(zhuǎn)板射流放大器和滑閥組成?；y位移通過反饋桿產(chǎn)生機械力矩反饋到力矩馬達(dá)銜鐵組件。

偏轉(zhuǎn)板射流放大器由射流盤和偏轉(zhuǎn)板組成，射流盤上開有一個射流噴嘴和兩個對稱的接收口。射流噴嘴與液壓能源相通，兩個接收口分別與第二級滑閥兩端的控制腔相連。偏轉(zhuǎn)板上開有V型導(dǎo)流窗口，其上端與銜鐵固連，并由彈簧管支撐，其下端通過反饋桿末端的小球插入滑閥閥芯中間的小槽中。

當(dāng)偏轉(zhuǎn)板處于射流盤中間位置時，由噴嘴射出的射流被兩個接收口均等地接收，在滑閥兩端產(chǎn)生的恢復(fù)壓力相等，閥芯不動。當(dāng)偏轉(zhuǎn)板偏轉(zhuǎn)時，兩個接收口內(nèi)的恢復(fù)壓力不等，在滑閥兩端產(chǎn)生的壓差控制閥芯運動。閥芯位移又帶動反饋桿產(chǎn)生變形，以力矩的形式反饋到力矩馬達(dá)的銜鐵上，與銜鐵產(chǎn)生的電磁力矩相平衡。

偏轉(zhuǎn)板射流式伺服閥結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠，具有射流管式伺服閥類似的優(yōu)缺點。但它可動的偏轉(zhuǎn)板重量輕，因而動態(tài)響應(yīng)要快些。

壓力-流量伺服閥

滑閥輸出的壓力經(jīng)反饋通道引入滑閥兩端的彈簧腔，形成負(fù)載壓力負(fù)反饋。在穩(wěn)態(tài)情況下，如果忽略閥芯所受的穩(wěn)態(tài)液動力，作用在閥芯上的彈簧力與反饋液壓力之合力與控制液壓力相平衡

當(dāng)負(fù)載壓力pL增大時，除閥口壓降減小使輸出流量減小外，還由閥開口量減小而使輸出流量進(jìn)一步減小。因此，負(fù)載流量曲線的斜率比流量伺服閥大，壓力-流量伺服閥的線性很好。應(yīng)當(dāng)指出，在位置反饋伺服閥的基礎(chǔ)上引入負(fù)載壓力反饋，都可以構(gòu)成壓力-流量伺服閥。另外，負(fù)載壓力除反饋到功率級滑閥外，也可以通過反饋噴嘴將負(fù)載壓力反饋到擋板，或通過壓力傳感器反饋到伺服放大器，其作用是一樣的。

壓力-流量伺服閥的流量-壓力系數(shù)大，但剛性差。通常用在負(fù)載慣性大、外負(fù)載力小或帶諧振負(fù)載的伺服系統(tǒng)。

動壓反饋伺服閥

壓力-流量伺服閥雖然增加了系統(tǒng)的阻尼，但降低了系統(tǒng)的靜剛度。為了克服這個缺點，出現(xiàn)了動壓反饋伺服閥，與壓力-流量伺服閥相比，它增加了由彈簧活塞和液阻（固定節(jié)流孔）所組成的壓力微分網(wǎng)絡(luò)，負(fù)載壓力通過壓力微分網(wǎng)絡(luò)反饋到滑閥。此閥在動態(tài)時，具有壓力-流量伺服閥的特性，在穩(wěn)態(tài)時具有流量伺服閥的特性。

MOOG伺服閥常用型號：

MOOG伺服閥D634-341C

MOOG伺服閥D661-4598C     G45HOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥072-558A

MOOG伺服閥D663-Z4307K  P02JONF6VSX2-A

MOOG伺服閥D662-4337K P02HAMF6VSX2-A      

MOOG伺服閥D662-4065  D01HXBF6NSF2-A        

MOOG伺服閥D661-4059 P80HABF6VSX2-B

MOOG伺服閥D661-4334C     G60KOAA5VSS2HA  

MOOG伺服閥D661-4406C     G23JOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥D661-4313C     G35KOAA6VEA2HE  

MOOG伺服閥D663Z4322K   P02JONF6VSY2-A     

MOOG伺服閥D661-4576C              G60KXAO5NSM2HA

MOOG伺服閥D664-4383K P05JAMO6VSX2-A      

MOOG伺服閥D661-4451C     G60HXAO6NSF2HA  

MOOG伺服閥D791-4025 S25JOQA6VSX2-O

MOOG伺服閥D634-R40K02M0NSM2

MOOG伺服閥D662Z4378K P01JXMF6VEA2-J       

MOOG伺服閥D662-Z4325N P02HXMM6NEX2-E 

MOOG伺服閥D662Z4384K P01JAMF6VSX2-A      

MOOG伺服閥D664-4380K

MOOG伺服閥D662-4709 D02HYBW5NSX4-O       

MOOG伺服閥D633-308B-R08KO1M0NSM2          

MOOG伺服閥D673-0001-0000     

MOOG伺服閥D633-7414      

MOOG伺服閥D661－4539C

MOOG伺服閥G631-3002B      

MOOG伺服閥D792-4005      

MOOG伺服閥D792-4007      

MOOG伺服閥D661-4697C G15JOAA5VSX2HA     

MOOG伺服閥D661-6460C/G35HOAA4VSX2

MOOG伺服閥G761-3002B

MOOG伺服閥D663-5002   L03HYAO6NSA0-P       

MOOG伺服閥D661-4506C/G35KOAA6VSX2HA

MOOG伺服閥D662Z4336K P01JXMF6VSX2-A       

MOOG伺服閥D634-319-C-24V

MOOG伺服閥D791-4038 S16JXQB6VSX2-B