氨氣純化裝置簡(jiǎn)介：

    凈化技術(shù):為了使高純超凈氨達(dá)到預(yù)期的純度和潔凈度,對(duì)與氣體接觸的所有設(shè)備、容器、管路的材質(zhì)進(jìn)行預(yù)處理,做到無(wú)表面吸附、無(wú)表面化學(xué)反應(yīng)、無(wú)粒子脫落、無(wú)死體積、密封性能好。在凈化系統(tǒng)中,選擇捕集效率高,孔徑小的高效過濾器,極大降低產(chǎn)品中的塵埃粒子,達(dá)到產(chǎn)品超純潔凈。

     純化技術(shù):對(duì)應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的高純氣體純度要求*,特別是影響半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)的氧、水以及其它雜質(zhì)含量必須達(dá)到ppm-ppb級(jí).我們針對(duì)原料氣體的雜質(zhì)含量、理化性質(zhì),以高效吸附和高效精餾為主要純化方法，重點(diǎn)選擇選擇性好、吸附容量大、純化深度高的新型吸附劑、高性能催化劑，具有吸附和催化兩種功能，雜質(zhì)脫除達(dá)到使用要求。本工藝特別宜于規(guī)模化生產(chǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

● 原理簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)合理，能耗低

● 氣體指標(biāo)穩(wěn)定，雜質(zhì)含量低
● 可選配自動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守
● 與氨分解裝置配套使用，亦可用于其它氣體的變溫吸附干燥

氨氣純化裝置技術(shù)指標(biāo)：

● 壓力—— 0.1~ 0.5Mpa(跟進(jìn)需求壓力可調(diào)節(jié))

● 常壓露點(diǎn)——≤－60℃

● 處理氣量—— 3~ 500Nm3/hr

     利用分子篩在不同溫度下對(duì)水吸附量不同的原理，通過常溫工作，加熱再生得到干燥的氨氣。生產(chǎn)高純氨的基本原理是是以工業(yè)一等品液氨(液氨等級(jí)劃分見表2)為原料，利用各種純化凈化手段生產(chǎn)高純氨。采用的純化方法視工業(yè)氨中所含雜質(zhì)的種類、數(shù)量、性質(zhì)和其最終所要達(dá)到的純度而定。一般氨中雜質(zhì)的種類和數(shù)量主要有：油份、烴類、H20、02、Ar、N2、H2、CO和CO2等。