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產(chǎn)品分類品牌分類

傳感器: 稱重傳感器差壓變送器壓力變送器扭矩傳感器直線位移傳感器力傳感器氧傳感器

露點儀: 溫濕度露點儀溫濕度微量水分儀

流量計: 質量流量計渦街流量計電磁流量計液體渦輪流量計差壓式流量計橢圓齒輪流量計熱式氣體質量流量計超聲波流量計其他種類流量計流量開關

液位計: 液位傳感器控制器液位開關導波液位計雷達液位計超聲波液位計

檢測儀器: 邵氏硬度計粗糙度儀測厚儀探傷儀壓縮空氣質量檢測儀空氣顆粒物檢測熱式風速儀氣體泄漏檢測溫濕度變送器氣體品質檢測氣體檢測儀氧化鋯分析儀其他檢測儀器微量氧分析儀 VOC檢測儀熱值儀

控制儀表: 顯示大屏定量控制儀稱重顯示儀流量積算儀

儀器儀表配件

煙氣分析儀

水質分析儀器: 綜合水質分析儀電導率溶解氧余氯濁度儀多參數(shù) PH計

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產(chǎn)品簡介詳細介紹

臭氧傳輸系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合wan全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導體機臺聯(lián)動，插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送

臭氧傳輸系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合wan全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導體機臺聯(lián)動，插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。

臭氧傳輸系統(tǒng)規(guī)格

臭氧傳輸系統(tǒng)特征

高純度水冷臭氧發(fā)生器，濃度最高達

350 g/Nm3

zuixian進的高濃度監(jiān)測儀

使用質量流量計監(jiān)測和控制臭氧和

進氣

完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)

最多支持四個獨立的伺服控制回路

19英寸柜機式外殼，頂端帶有排氣系

統(tǒng)，底端配有輪子

應用

化學氣相沉積 (CVD)

原子層沉積 (ALD)

氧化物生長

表面處理

顆粒清潔

光刻膠去除

灰化

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