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高壓氣體粒子計數器
靈敏度范圍：0.1 - 5.0 µm
高技術生產工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數無害氣體相匹配，它可以應用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認，監(jiān)測氣體中的粒子。
高壓氣體粒子計數器HPGP與粒子數據系統(tǒng)、以太網(PDS-E)配對，收集并報告由探測器捕獲的數據。
安全保護殼
氧氣與氫氣兼容性
0.1SCFM下，靈敏度為0.1μm
8個粒子通道
管道壓力從40到150psig
被動式激光源
并行處理陣列檢測器系統(tǒng)
核實粒子質量
檢測工藝異常
量化系統(tǒng)更改的影響
提供精確粒徑
使用 Facility Net軟件來進行全面的數據存儲、管理、報告和警報
被動式激光源設計只需極少的維護
凈化的惰性氣體確保安全
樣本氣體一旦泄漏，容器立刻終止電源
氣體分布系統(tǒng)的資格確認
工藝氣體監(jiān)測
活性氣體監(jiān)測
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