青島芯笙近期推出多款氣體質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，成功打通從MEMS芯片到流量檢測儀表和算法的全鏈條核心技術(shù)，成為青島市僅有的幾家掌握MEMS核心芯片技術(shù)的高科技企業(yè)之一。
隨著國家對國產(chǎn)儀器和半導(dǎo)體設(shè)備的重視和支持，國內(nèi)分析儀器產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了快速發(fā)展。作為分析儀器和半導(dǎo)體裝備的核心部件，氣體質(zhì)量流量計/控制器目前仍以進(jìn)口為主，國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計，MEMS氣體質(zhì)量流量計基于熱傳導(dǎo)原理對氣體質(zhì)量流量進(jìn)行高精確測量，該類型產(chǎn)品不受溫度和壓力等環(huán)境參數(shù)影響。
青島芯笙S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，具有*的氣體流道設(shè)計，可實現(xiàn)靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學(xué)信號方面，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級顯示屏，方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。
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