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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
LiteScope™
掃描探針顯微鏡的設(shè)計(jì)易于集成到電子顯微鏡中。 互補(bǔ)的SPM 和SEM 技術(shù)的結(jié)合使得能夠利用兩種常用顯微鏡技術(shù)的優(yōu)勢。
描述
LiteScope™提供了廣泛的掃描探針顯微鏡（SPM）成像模式，可通過更換探針輕松使用。
全面的樣本分析，包括：
LiteScope™還可以與其他SEM附件結(jié)合使用：
用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面修飾。通過這種組合，LiteScope™可以輕松快速地對制造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行3D檢查。
主要優(yōu)勢
其他優(yōu)勢
相關(guān)探針電子顯微鏡
關(guān)聯(lián)顯微鏡是一種受益于兩種不同技術(shù)的同一對象成像的方法。
相關(guān)探針 和電子顯微鏡（CPEM）已開發(fā)用于使用相關(guān)成像技術(shù)，并帶來了解決方案，該解決方案可以同步：
NenoVision引入了CPEM技術(shù)
CPEM技術(shù)是市場上同類產(chǎn)品中的一個(gè)，它允許在同一位置和同一時(shí)間使用同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)測量SPM和SEM。
掃描電鏡技術(shù)
通過電子掃描樣品進(jìn)行二維分析。
SPM技術(shù)
通過物理探針掃描樣品。
CPEM技術(shù)
結(jié)合了兩種技術(shù)，并提供*的相關(guān)成像。
CPEM技術(shù)
CPEM可以在同一時(shí)間和同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時(shí)通過SEM和SPM對一個(gè)區(qū)域進(jìn)行同時(shí)的表面表征。
以已知的恒定偏移量和相同的分辨率進(jìn)行同時(shí)掃描，可確保在同一表面上進(jìn)行分析，并可通過我們的NenoView軟件直接用于在線成像。
LiteScope™數(shù)據(jù)
LiteScope™通常用于高真空中，但也可根據(jù)要求適用于超高真空條件。
我們提供*非磁性的版本，也可根據(jù)要求提供閉環(huán)。
設(shè)計(jì)
LiteScope™放置在SEM / FIB顯微鏡的載物臺(tái)上，甚至可以在傾斜位置進(jìn)行測量，例如與FIB技術(shù)同時(shí)使用。
控制單元
所有控制LiteScope™的電子設(shè)備都集成到一個(gè)控制單元中。該單元是標(biāo)準(zhǔn)的19英寸機(jī)架，可以輕松地安裝在SEM電子設(shè)備的空閑插槽上，也可以簡單地自由放置以匹配手頭任務(wù)的需要。
NenoView軟件
NenoView是用戶友好的軟件，它可以*控制設(shè)置測量，數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理。NenoView 支持CPEM技術(shù)，并使其能夠直接和內(nèi)部利用相關(guān)成像。
成像模式
LiteScope™提供并支持各種SPM測量方法和探頭。
其設(shè)計(jì)的基石和有價(jià)值的技術(shù)特征是通用探頭支架，可以非常輕松地“即插即用”安裝不同的探頭。
LiteScope™支持的方法和相關(guān)探針
| Akiyama probes | Tuning fork based probes | PRS/A* | Pt/Ir wire | |
|---|---|---|---|---|
| STM (Scanning Tunneling Microscopy) | Yes | Yes | No | Yes |
| AFM – Contact Mode | No | No | Yes | No |
| AFM – Tapping Mode | Yes | Yes | Yes | No |
| AFM – Conductive Mode | No | Yes | No | No |
| MFM (Magnetic Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| KPFM (Kelvin Probe Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| EFM (Electrostatic Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| FMM (Force Modulation Mode) | No | No | Yes | No |
| Local voltage measurement | No | Yes | No | Yes |
| Local current measurement | No | Yes | No | Yes |
* Piezo-Resistive Sensing / Active (PRSA) probes