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　　西班牙Sensofar平面度測量白光干涉儀S neox 0.65X,以優(yōu)秀的橫向和縱向分辨率測量平面度。S neox搭配0.65X物鏡，具有最大視野的物鏡和最高精度的載物臺，在平面度、平行度和臺階高度測量方面提供了最佳的表現(xiàn)。Sensofar自己設計的0.65X邁克爾遜物鏡旨在實現(xiàn)一個目的:以快速準確的方式測量平面度。密集采樣、大視野和干涉測量的結合確保了所預期的效果。我們的采集軟件直接連接到SensoPRO，這是QA和QC的*。通過我們的軟件，測量結果以通過報告的形式呈現(xiàn)產品是否合格。SensoPRO基于 插件的數據分析算法提供了高度的靈活性。平面度分析由SensoPRO自動執(zhí)行，它會根據ISO25178 標準來應用所有必需的過濾器，并計算高度參數。Sensofar