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應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,制藥/生物制藥

　　掃描電子顯微鏡SU3800/SU3900的產(chǎn)品特點：

　?、賁U3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

　　■樣品臺可搭載超大/超重樣品666[=設(shè)備或樣品。

　　·選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率。

　　·具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度。

　　·紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性。

　　■支持全視野移動。SEMMAP支持超大樣品的全視野觀察。

　　·與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)。

　　·覆蓋整個可觀察區(qū)域。

　　·支持360度旋轉(zhuǎn)。

　?、陔S著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

　　■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI。

　　■各種自動化功能：

　　·自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

　　·提高了自動聚焦精度。

　　·搭載IntelligentFilamentTechnology（IFT）

　　■MultiZigzag，可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察。

　　■ReportCreator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告。

　?、劭商峁M足測試需求的應(yīng)用解決方案。

　　■可滿足多種觀察需求的探測器。

　　·搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察。

　　·高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像。

　　■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件。

　　>■SEM/EDS一體化功能*

　　■三維顯示測量軟件HitachiMap3D*。

　　■支持圖像測量軟件Imagepro。

　　掃描電子顯微鏡SU3800/SU3900的技術(shù)參數(shù)：

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
		×7～×800,000（實際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
最大樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續(xù)
	T	－20°～+90°
	最大可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	最大可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機(jī)驅(qū)動	5軸電機(jī)驅(qū)動
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統(tǒng)	二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調(diào)整功能	自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調(diào)整（實時級別對齊）
		自動調(diào)整光束亮度
	自動圖像調(diào)整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標(biāo)記和焦點功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
		自動光束對準(zhǔn)（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）