量程

X方向

200mm

Z方向

±500μm

分辨率

X方向

0.0016μm/±50μm ~ 0.016μm/±500μm

驅(qū)動(dòng)器

直線度

1μm/200mm

分析算法

對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)

JIS-82、JIS-87、JIS-94、JIS-01、JIS213、ISO-84、 ISO297、DIN-90、ASME295、GB-14

參數(shù)

粗糙度輪廓

Ra75、Rq、Rp、Rv、Rc、Rt、S、R3z、PPI、Ra、Rsk、

Rku、Ry、Sm、RΔa、RΔq、Rz、Pc、Rλa、Rλq、lr、RSm、Rz94、RPc、RS、Rz.I、Rpm、HSC

波紋度輪廓

WCA、WCC-q、WCC-p、WCC-v、WCC-m、WCC-Sm、WCA、WC-q、WC-p、WC-v、WCM、WC-Sm、WC-t、Wa、Wq、Wsk Wku、Wp、Wv、Wz、Wc、Wt、WSm、WΔq、WPc

原始輪廓

Rsk、Rku、Rmax、Sm、Δa、Δq、Rz、λa、λq、lr、TILT A、AVH、Hmax、Hmin、AREA、Rz.J、Pa、Pq、Psk、Pku、Pp、Pv、Pc.I、Pt、PSm、PΔq、PPc、Pc

支承率曲線

Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、V0、K、A1、A2

圖形

NCRX、AR、R、Rx、NR、CPM、SR、SAR、AW、W、

Wx、Wte、NW、SW、SAW、Rke、Rpke、Rvke、Mr1、Mr2、V0、K

評(píng)定曲線

粗糙度輪廓、波紋度輪廓、原始輪廓、支承率曲線、圖形

特征曲線

支承率曲線(Rmr(c)、Rmr2(c)、Rδc(c)、tp(c)、tp2(c)、Htp(c))、幅頻分析曲線、振幅分布曲線

形狀去除

全域、前半、后半、中心、2點(diǎn)、曲線

濾波器類型

Gaussian、FFT、PC、DP、2RC

濾

止

波

長(zhǎng)

λs

0、2.5、8、25μm  

λc

0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

λf

0.8、2.5、8、25mm

評(píng)定長(zhǎng)度

取樣長(zhǎng)度 × 取樣個(gè)數(shù)（取樣長(zhǎng)度有標(biāo)準(zhǔn)模式與自定義模式）

測(cè)量速度

0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s

回程速度

0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s

傳感器

型號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)通用型

傳感器方式

差動(dòng)電感

量程

±500μm

測(cè)針

5μmR金剛石90°

測(cè)力

0.75mN可調(diào)

操作機(jī)

顯示部分

10寸彩色IPS觸摸屏

數(shù)據(jù)輸出

TF卡/U盤/WIFI打印

對(duì)應(yīng)語(yǔ)言

中文，英文

尺寸

及質(zhì)量

電源/消耗

AC220V±10%   內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電） 充電時(shí)間8小時(shí)

耗電量

約30VA

尺寸/質(zhì)量

執(zhí)行器  168(W)×516(L)×378(H)

操作器  245(W)*162(D)*68(H)    干重16Kg      含包裝20Kg