一、上海臺式電鏡介紹

EM科特（EmCrafts）CUBE-Ⅱ Plus臺式掃描電鏡能譜一體機(jī)是一款桌面緊湊型掃描電子顯微鏡。區(qū)別與傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身，Cube系列占地面積小，便攜性能好，可遵照客戶服務(wù)指南任意移動SEM設(shè)備。

二、上海臺式電鏡在硅太陽能電池觀察中的應(yīng)用

綜述：

太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽光直接發(fā)電的光電半導(dǎo)體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學(xué)上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進(jìn)行觀測，從而控制電池質(zhì)量。

試驗(yàn)方法：

取不同工藝進(jìn)程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察?？焖儆^察模式，照相時間 10s

結(jié)論：

EM科特掃描電鏡，可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片，無損檢測。

1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像

2、晶圓表面Saw damage etching

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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