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目錄:北京格微儀器有限公司>>高真空離子濺射>> GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀

GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀
  • GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2025-01-02 17:58:51瀏覽次數(shù):1471評(píng)價(jià)

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GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀是一款容易操控的磁控離子濺射儀,為自動(dòng)化技術(shù)鍍膜機(jī)給予市面上最好使用價(jià)值的商品。它被用于非導(dǎo)電性樣品的預(yù)備處理商品,以提升三維成像屏幕分辨率,樣品導(dǎo)電率,電子電荷降低并減少對(duì)比較敏感樣品的光線損害。

高真空磁控離子濺射儀


GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀是一款容易操控的磁控離子濺射儀,為自動(dòng)化技術(shù)鍍膜機(jī)給予市面上最好使用價(jià)值的商品。它被用于非導(dǎo)電性樣品的預(yù)備處理商品,以提升三維成像屏幕分辨率,樣品導(dǎo)電率,電子電荷降低并減少對(duì)比較敏感樣品的光線損害。
一、描述
1、全自動(dòng)知識(shí)產(chǎn)品;
2、沒(méi)有熱損傷,效率更高,顆粒度更細(xì),更適合高分辨電鏡。
二、基本原理
將導(dǎo)電性原材料(如Pt-Pd,Pt,Au和Pd)涂敷到樣品表面上的設(shè)備。除此之外,非導(dǎo)電性樣品用以在透射電鏡下開(kāi)展數(shù)據(jù)可視化,及其維護(hù)樣品表面免遭引入離子束的危害并幫助電子器件流動(dòng)性。他們乃至可以作為塑料薄膜型電級(jí)的產(chǎn)生。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
1、高分辨掃描電鏡樣品制備(實(shí)際放大倍數(shù)≥100K);
2、電極制備-可制備各種金屬電極、ITO電極。
四、設(shè)備配置與技術(shù)參數(shù)
型號(hào)&名稱GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀
真空系統(tǒng)渦輪分子泵(進(jìn)口 ):德國(guó)萊寶90i (單磁懸浮分子泵,抽速為90L/s)
旋片式真空泵:浙江飛越VRD-4 (抽速為 1 .1L/s)
真空測(cè)量全量程復(fù)合真空規(guī)(進(jìn)口):1.0E5Pa-1E-4Pa
系統(tǒng)極限真空≤5E-3Pa
濺射電源磁控濺射電源,功率150W
可用靶材所有金屬靶材,ITO靶材
濺射電壓300-600V,根據(jù)選擇靶材、控制參數(shù)不同而變化
濺射電流0-200mA連續(xù)可調(diào),步長(zhǎng)5mA
濺射時(shí)間0-9999s, 連續(xù)可調(diào)步長(zhǎng)1s
操作界面7英寸TFT彩色液晶觸摸屏,分辨率800×480
操作方式一鍵操作
抽氣節(jié)拍<15分鐘
控制方式只需設(shè)定濺射電流和時(shí)間即可,全自動(dòng)控制
具備預(yù)濺射擋板(預(yù)濺射時(shí)間可設(shè)定),全自動(dòng)控制
保護(hù)功能軟硬件互鎖、防止誤操作,具備電流、真空保護(hù)等
樣品臺(tái)直徑φ125mm,可自轉(zhuǎn),可自動(dòng)手動(dòng)控制,轉(zhuǎn)速4-40rpm可調(diào)
真空室高硅硼玻璃,規(guī)格尺寸約φ200×130mm
電源供電220V 50Hz 功率800W
尺寸&重量重量 424(長(zhǎng)) ×345(深) ×420mm(高)、 25 kg (凈重)
冷卻方式內(nèi)部風(fēng)冷
選配樣品臺(tái)選擇、膜厚控制、溫度監(jiān)測(cè)等

鍍膜樣品示例:

    銀.jpg   鎢.jpg   鉻.jpg

            靶材-銀                           靶材-鎢                           靶材-鉻

    鎳.jpg   釩.jpg   錫.jpg

             靶材-鎳                         靶材-釩                           靶材-錫        

    銅.jpg    鉭.jpg   鐵.jpg

            靶材-銅                              靶材-鉭                        靶材-貼

    鈦.jpg     鉛.jpg    鉬.jpg

              靶材-鈦                         靶材-鉛                            靶材-鉬

    鋁.jpg      鉑.jpg    金.jpg

           靶材-鋁                               靶材-鉑                               靶材-金

    鋯.jpg       鉺.jpg    ITO.jpg

             靶材-鋯                               靶材-鉺                        靶材-ITO


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