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美國(guó)Entegris氣體過濾器WGMXMSRR4

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更新時(shí)間:2022-10-31 10:34:03瀏覽次數(shù):186

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美國(guó)Entegris氣體過濾器WGMXMSRR4
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詳細(xì)介紹

美國(guó)Entegris氣體過濾器WGMXMSRR4

美國(guó)Entegris氣體過濾器WGMXMSRR4

目前電子化、數(shù)字化技術(shù)在電液伺服閥技術(shù)上的運(yùn)用主要有兩種方式:其一,在電液伺服閥模擬控制元器件上加入D/A轉(zhuǎn)換裝置來實(shí)現(xiàn)其數(shù)字控制。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,可把控制元器件安裝在閥體內(nèi)部,通過計(jì)算機(jī)程序來控制閥的性能,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化補(bǔ)償?shù)裙δ堋5嬖谀M電路容易產(chǎn)生零漂、溫漂,需加D/A 轉(zhuǎn)換接口等問題。其二,為直動(dòng)式數(shù)字控制閥。通過用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥芯,將輸入信號(hào)轉(zhuǎn)化成電機(jī)的步進(jìn)信號(hào)來控制伺服閥的流量輸出。該閥具有結(jié)構(gòu)緊湊、速度及位置開環(huán)可控及可直接數(shù)字控制等優(yōu)點(diǎn),被廣泛使用。但在實(shí)時(shí)性控制要求較高的場(chǎng)合,如按常規(guī)的步進(jìn)方法,無法兼顧量化精度及響應(yīng)速度的要求。浙江工業(yè)大學(xué)采用了連續(xù)跟蹤控制的辦法,消除了兩者之間的矛盾,獲得了良好的動(dòng)態(tài)特性。此外還有通過直流力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)閥芯來實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制等多種控制方式或伺服閥結(jié)構(gòu)改變等方法來形成眾多的數(shù)字化伺服閥產(chǎn)品。同一臺(tái)伺服閥可以根據(jù)控制要求設(shè)置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/ 壓力復(fù)合控制伺服閥。

目前電子化、數(shù)字化技術(shù)在電液伺服閥技術(shù)上的運(yùn)用主要有兩種方式:其一,在電液伺服閥模擬控制元器件上加入D/A轉(zhuǎn)換裝置來實(shí)現(xiàn)其數(shù)字控制。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,可把控制元器件安裝在閥體內(nèi)部,通過計(jì)算機(jī)程序來控制閥的性能,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化補(bǔ)償?shù)裙δ堋5嬖谀M電路容易產(chǎn)生零漂、溫漂,需加D/A 轉(zhuǎn)換接口等問題。其二,為直動(dòng)式數(shù)字控制閥。通過用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥芯,將輸入信號(hào)轉(zhuǎn)化成電機(jī)的步進(jìn)信號(hào)來控制伺服閥的流量輸出。該閥具有結(jié)構(gòu)緊湊、速度及位置開環(huán)可控及可直接數(shù)字控制等優(yōu)點(diǎn),被廣泛使用。但在實(shí)時(shí)性控制要求較高的場(chǎng)合,如按常規(guī)的步進(jìn)方法,無法兼顧量化精度及響應(yīng)速度的要求。浙江工業(yè)大學(xué)采用了連續(xù)跟蹤控制的辦法,消除了兩者之間的矛盾,獲得了良好的動(dòng)態(tài)特性。此外還有通過直流力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)閥芯來實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制等多種控制方式或伺服閥結(jié)構(gòu)改變等方法來形成眾多的數(shù)字化伺服閥產(chǎn)品。同一臺(tái)伺服閥可以根據(jù)控制要求設(shè)置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/ 壓力復(fù)合控制伺服閥。

 

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