目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>專業(yè)高溫爐系列>>RTP快速退火爐>> OTF-1200X-4-RTP小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP
產(chǎn)品型號(hào) | 小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP | ||
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備需配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz（35A空氣開關(guān)），必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)可延長其使用壽命。 2、石英樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，使樣品裝載更加容易。 3、樣品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導(dǎo)率，可使樣品放置的區(qū) 域有很好的溫度均勻性（±5℃）。 4、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確性。 5、采用PID自動(dòng)溫度控制，30段程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能及自整定功能。 6、已通過CE認(rèn)證。所有電器元件（>24V）都通過了UL/MET/CAS認(rèn)證。若用戶自行承擔(dān)認(rèn)證費(fèi)用，本司保證 單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證和CAS認(rèn)證。 7、可增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE爐（快速熱蒸發(fā)爐）。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：208V-240V AC，50Hz/60Hz單相，zui大功率9KW（>60A保險(xiǎn)） 2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷） 3、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm，長380mm 4、樣品架：76mm 5、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm 6、恒溫區(qū)：102mm×305mm，均勻性±5℃ 7、熱偶：K型熱偶 8、溫度：zui高溫度1100℃，額定溫度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保溫時(shí)間不超過600s，否則O型圈將被 燒融） 9、控溫精度：±1℃ 10、zui快升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s，800℃-1000℃內(nèi)10℃/s 11、zui快降溫速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一個(gè)大氣壓下） 12、真空度：50mtorr（機(jī)械泵），10-4torr（分子泵） 13、真空法蘭： 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭，配有兩個(gè)高溫O型圈密封 14、流量計(jì)：16ml/min-160ml/min 15、真空計(jì)：數(shù)字真空計(jì)，測量范圍10mtorr-800torr（注意：此表在氮?dú)庀滦?zhǔn)的，只有在氮?dú)夂涂諝庀卤?/span> 上顯示的實(shí)際壓力，當(dāng)通入任何其他氣體時(shí)，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會(huì) 嚴(yán)重） 16、水冷：如要求通冷卻水，請確定冷卻水流速3L/min、水溫20℃、水壓25PSI（建議采用循環(huán)水制冷器作為 冷卻系統(tǒng)）
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產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：760mm×330mm×530mm；重量：45kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | AIN基片 | 1片 |
2 | 石英樣品架 | 1個(gè) | |
3 | 石英管 | 1根 | |
4 | 石英擋板 | 4片 | |
| 5 | 紅外燈管 | 8根 | |
| 6 | 真空法蘭 | 1套 | |
| 7 | KF-D25快接 | 2套 | |
| 8 | 數(shù)字真空計(jì) | 1個(gè) | |
| 9 | 高溫手套 | 1雙 | |
10 | 高溫硅膠圈 | 6個(gè) | |
11 | 聚氨酯水管（外徑Ø12mm、內(nèi)徑Ø8mm） | 1根 | |
| 12 | 水管接頭 | 2個(gè) | |
| 13 | 63A保險(xiǎn) | 2個(gè) | |
14 | 4A保險(xiǎn) | 2個(gè) | |
| 可選配件 | 1、真空泵 2、波紋管（KF-D25接口）（1m） 3、KF-D25快接 4、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)（測量范圍3.8×10-5torr-1125torr，不需要因測量氣體的種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換） 5、RS485串口和控溫軟件 | ||
注意事項(xiàng) | 1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 2、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。（建議選購本司的減壓閥，量 程為0.01MPa-0.1MPa，更加精確安全） 3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 5、石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。 6、對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí) 刻關(guān)注壓力表的示數(shù)。若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立即打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破 裂、法蘭飛出等）。 | ||
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