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目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>實(shí)驗(yàn)室分析設(shè)備>>膜厚分析設(shè)備>> EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀

EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
  • EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 沈陽(yáng)市
屬性

產(chǎn)地類別:國(guó)產(chǎn)

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更新時(shí)間:2018-11-05 11:23:35瀏覽次數(shù):1977評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn)
EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中,用于對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

    EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備薄膜制備過(guò)程中用于對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM(脈沖寬度調(diào)制)模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制,從而檢測(cè)所制備薄膜的厚度EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,原理簡(jiǎn)單,操作方便,尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備過(guò)程的使用。 

產(chǎn)品名稱

EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀

產(chǎn)品型號(hào)

EQ-TM106

主要特點(diǎn)

1、機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。

2、顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)

3、通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置,并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1、電源:DC  5V(±10%),最大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚準(zhǔn)確度:±0.5%,取決于過(guò)程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度

5、測(cè)量速度:100ms-1s/,可設(shè)置

6、測(cè)量范圍:500000Å(

7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體:6MHz

8、計(jì)算機(jī)接口:RS-232/485串行接口波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位8,停止位1校驗(yàn)無(wú)

9、模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調(diào)制輸出集電極開(kāi)路或內(nèi)部5V輸出

10、工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

   11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數(shù)碼管LED

4、通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位8位停止位1位,奇偶校驗(yàn)無(wú)

  5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:Ø14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:Ø3mm,長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動(dòng)擋板路管:Ø3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃

9、電氣接口:BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1個(gè)

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺(tái)

3

EQ-TM106-3探頭

1個(gè)

 

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