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UOTEST DCH-196高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款高低溫環(huán)境下給樣品加載電學信號的設(shè)備。可以實現(xiàn)器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料，半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運用。一般用于相關(guān)單位實驗室。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
真空探針臺產(chǎn)品優(yōu)勢：
防輻射屏和熱沉設(shè)計
降溫速度快，常溫降至 77k<25mins，大大提高測試效率
液氮自動控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共 同控制溫度
真空探針臺詳細參數(shù)：
產(chǎn)品類型 | 低溫開循環(huán) | 低溫閉循環(huán) | |
型號 | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10^-4pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設(shè)計 | ||
溫控系統(tǒng) | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控范圍 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
溫控精度 | ± 0.1度 | ||
溫度穩(wěn)定性 | ± 0.1度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優(yōu)于25mins | 常溫降到10k優(yōu)于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光學系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式/單筒/金相顯微鏡 | 體式/單筒顯微鏡 |
移動范圍 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦/定制其它 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | ||
探針臂 | 探針臂數(shù)量 | 最多6個 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
探針 | 頻率范圍 | DC-67G | |
探針直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可選 | ||
材質(zhì) | 鎢鋼，鈹銅 | ||
真空系統(tǒng) | 機械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應(yīng)用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | ||
產(chǎn)品特點 | 防輻射屏和熱沉設(shè)計 | ||
液氮自動控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度 | |||
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測試效率 | |||
優(yōu)測國芯電子科技（深圳）有限公司是一家致力于提供半導(dǎo)體和自動化設(shè)備綜合解決方案的自主創(chuàng)新型技術(shù)企業(yè)。我們集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)于一體，不僅擁有*的生產(chǎn)設(shè)備、加工工藝及品質(zhì)檢測體系，也擁有涉及材料、物理、化學、微電子、機械等專業(yè)的技術(shù)團隊?，F(xiàn)在主營的產(chǎn)品有：4寸、6寸、8寸、12寸手動探針臺、高壓大功率探針臺、真空高低溫探針臺，半自動探針臺，全自動探針臺等，可以完成I-V/C-V測試，脈沖I-V測試，RF/mmW測試，高壓、大電流測試，MEMS、光電器件等測試。專業(yè)的設(shè)計人員也可以按客戶的要求量身定制，如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)、太陽能發(fā)生器、多普勒測試儀、積分球等，在常規(guī)探針臺功能上進行延伸拓展來滿足不同客戶的測試需求。
