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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
雙面點(diǎn)針探針臺(tái) 鏤空或高透光玻璃設(shè)計(jì) 可用于晶圓和PCB板測(cè)試，用于需要正面和背面同時(shí)扎針，以實(shí)現(xiàn)各種光/電性能測(cè)試需求的測(cè)試設(shè)備。該定制探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，符合人體工程學(xué)，以及多項(xiàng)升級(jí)功能?？蓮V泛應(yīng)用于集成電路、Wafer，LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
可同時(shí)完成DC和RF測(cè)試
大手柄雙驅(qū)動(dòng)，省時(shí)，省力，省心
雙光路系統(tǒng)，上光路可升級(jí)加載光電流系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào) | DSH-6 | DSH-8 | DSH-12 | |
臺(tái)體 | 整機(jī)尺寸（mm） | 700mmL*700mmW*720mmH | 750mmL*750mmW*720mmH | 880mmL*880mmW*720mmH |
重量 | 85kg | 100kg | 160kg | |
卡盤大小 | 6" ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng), 可微調(diào) | 8" ，360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ， 可微調(diào) | 12"，360 度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤行程和精度 | 6"*6" ， 精度 10um | 8"*8" ， 精度 10um | 12"*12" ， 精度 10um | |
卡盤材質(zhì) | 高透射玻璃或者鏤空 | |||
固定方式 | 機(jī)械式壓片固定，尺寸可調(diào) | |||
卡盤升降功能 | Chuck可以上下快速升降5mm 和微調(diào)升降 6mm，精度 1 微米 | |||
可選附件 | 射頻校準(zhǔn)臺(tái)；chuck 360度快速移動(dòng)；探針座平臺(tái)升降；加熱等 | |||
針座平臺(tái) | 類型 | 雙面點(diǎn)針平臺(tái)，單個(gè)平臺(tái)最多可放置8個(gè)DR/L-100探針座 | ||
材質(zhì) | U型平臺(tái)，鍍鎳，與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力，帶接地端子 | |||
正面光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu)，XYZ行程分別為2 英寸*2 英寸*2 英寸，精度 1um | |||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500 萬像素，幀率 60fps，帶拍照、錄像、測(cè)量功能 | |||
背面光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | L型單筒顯微鏡 | ||
連續(xù)變倍比 | 0.75X~5X | |||
倍率范圍 | 40X~280X（可選高倍物鏡增加倍率） | |||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500 萬像素，幀率 60fps，帶拍照、錄像、測(cè)量功能 | |||
探針座 | 類型 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V | ||
X-Y-Z 行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um | |||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
雙面點(diǎn)針探針臺(tái) 鏤空或高透光玻璃設(shè)計(jì)
