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測量機(jī)床全部誤差所用的時(shí)間越短，越能夠反映所測機(jī)床的真實(shí)情況。當(dāng)用傳統(tǒng)干涉儀測量時(shí)，因在測量各項(xiàng)指標(biāo)時(shí)更換光學(xué)鏡調(diào)整光路上要浪費(fèi)大量的時(shí)間，難以保證機(jī)床檢測數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和重復(fù)再現(xiàn)性。XD系列激光干涉儀約在2000年進(jìn)入中國市場，結(jié)合激光干涉技術(shù)和光電自準(zhǔn)直技術(shù):不僅可用于精度的最終評價(jià), 也可用于機(jī)床的安裝調(diào)整。XD Laser 激光干涉儀是API公司的產(chǎn)品。-次安裝即可以測得6個(gè)參數(shù).包括1個(gè)位置度誤差. 2個(gè)直線度誤差和3個(gè)角度誤差。通常時(shí)間需數(shù)天進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成。實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明:可節(jié)省時(shí)間高達(dá)80%。

API公司XD系列激光干涉儀型號：

一維測量系統(tǒng)XD –1D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
三維測量系統(tǒng)XD –3D
五維測量系統(tǒng)XD –5D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
六維測量系統(tǒng)XD –6D 標(biāo)準(zhǔn)型&精密型