【 產品特點】

1.軸承罩 可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分 離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制 程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而 延長軸承的使用壽命。 2.變頻器驅動 大部分范圍內泵性能相同，具有泵過 載保護和遠程啟動/停止功能。3. 高流量氣鎮(zhèn)特性 可以240 gh-1 的速度抽取蒸氣 (包括水蒸氣)。4. 軸向氣隙電機 減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和 噪聲。5. 簡單的單端雙渦旋設計 可在幾分鐘內完成維護工作，從而降低 運行成本并盡可能延長正常運行時間。6. 雙入口和旁通閥技術 XDS35iE適用于大腔體的抽氣，防止氣 體過度壓縮，提高泵的效率和抽速，延 長軸承的使用壽命