聚對二甲苯（Poly-p-xylene），商品名帕里綸（Parylene），是通過化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性，主要有 Parylene N（聚對二甲苯）、Parylene C（聚一氯對二甲苯）和 Parylene D（聚二氯對二甲苯）三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護性涂料和包封材料等。

工作原理:

將該二聚體進行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基，再導(dǎo)入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對二甲苯薄膜。

聚對二甲苯薄膜涂層特點:

聚對二甲苯薄膜無色透明,膜厚0.1μm 時仍無針孔。它的化學(xué)性能穩(wěn)定 ,有優(yōu)良的機/電/熱和生物相容性,對氣體有良好的阻擋作用,還能提高被抱覆物的耐摸性,同時是一種能防潮/防霉/防酸堿/耐輻照的高品質(zhì)防護涂層。聚對二甲苯薄膜涂層的優(yōu)良特性,使其在許多高科技領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景 。

Parylene涂層在電子領(lǐng)域應(yīng)用極其廣泛,主要用于:

電路板,半導(dǎo)體器件,集成電路,混合微電路, 混合微電路,電容器,微型電機和鐵氧體;

在光學(xué)和光電領(lǐng)域主要用于光學(xué)光電器件,復(fù)印技術(shù)光電感光體,激光存儲和記錄器件;

在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域用于人工假體,埋入式器件,血液分析器等;

在航空航天領(lǐng)域主要用在航空航天器上,用于絕緣保護。

Diener P30聚對二甲苯薄膜涂層系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

parylene N, C, D, F-VT4

涂層厚度: 0.05 ~ 50 um

外形尺寸：W1400*D700*1700mm:        

裂解管功率及溫度:    2 kW / max. 700 °C  

樣品艙:      

直徑：310mm 高度：500mm

樣品臺：

直徑：150mm 高度：270mm  

液氮冷卻

真空泵：

雙極油泵

排氣速度：25m3/h

極限真空度：1*10-3mbar

控制:  Windows Full PC  

400 V/16 A/50-60 Hz