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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池 | 真空腔體 | 420×400×450mm |
| 精密膜厚探頭 | 1套，內(nèi)嵌式液晶顯示屏實時顯示膜厚和蒸鍍速率 | 蒸發(fā)源 | 3組電阻式熱蒸發(fā)源 |
| 真空泵 | 一級：機械泵一套，二級：擴散泵一套 | 真空規(guī) | 電阻規(guī)一套，電離規(guī)一套，數(shù)字顯示 |
| 內(nèi)嵌液晶觸摸屏 | 數(shù)字控制真空泵開關(guān)，各路真空閥門開關(guān)，蒸發(fā)源工作電流等參數(shù) | 冷卻水循環(huán)機 | 一套，風(fēng)冷，無外接水源 |
| 樣品托盤 | 可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0~100rpm可調(diào)?內(nèi)尺寸102*100*5m | 掩膜板區(qū)域 | 97±3*100mm蒸發(fā)鍍膜區(qū)92*100mm |
| 蒸發(fā)源擋板? | 可真空狀態(tài)操作，Φ70mm | 外部尺寸? | 長840*寬478*高1514mm?主機底部配4滾輪 |
| 工作電源 | 220V，?50/60Hz | 工作環(huán)境 | 0~50℃ |
| 總功率 | 1500W | 總重量 | 270KG |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
本產(chǎn)品適用于高等院校、科研單位、研究所和*企業(yè)進行各種材料表面精密鍍膜的研發(fā)，試樣和小批量重復(fù)性制備。
一.集成度高：整套設(shè)備集成一級，二級真空泵，冷卻水循環(huán)，內(nèi)嵌一體化彩色觸摸屏,觸摸控制不同真空泵閥門的通斷，不同蒸發(fā)舟的電流大小。節(jié)省實驗室空間。
二.實時監(jiān)控：腔內(nèi)配有自主研發(fā)的精密壓電陶瓷膜厚探頭，實時監(jiān)控鍍膜表面的膜厚，檢測精度可達1埃/秒（0.1nm/s)
三.多源蒸鍍：配有三組蒸發(fā)源，蒸發(fā)隔板，支持在真空中切換蒸發(fā)源，實現(xiàn)不同蒸發(fā)源多層蒸鍍；支持鉬，鎢蒸發(fā)舟。
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