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當前位置：無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機>>蝕刻機用冷水機>> AES-4535ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機燒毀原因
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時間：2025-01-13 08:44:25瀏覽次數(shù)：1641次
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半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 風冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機燒毀原因
ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機燒毀原因
1、ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機頻繁啟動
如果ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機器溫度設(shè)置不當，制冷溫度過低，制熱溫度過高，這時造成ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機頻繁開關(guān)機，將縮短ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機壽命。
2、ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電壓不穩(wěn)
電源電壓質(zhì)量不好如電壓過高或過低，都對ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電機有不良影響，尤其是超出ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機額定電壓范圍使用，為不當，長期運轉(zhuǎn)使ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電機處于低效過熱狀態(tài)，造成絕緣不良，電機繞組燒毀。
3、壓縮機燒毀后制冷系統(tǒng)沒有清理干凈
對曾經(jīng)有壓縮機燒毀故障的ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機制冷系統(tǒng)，一定要把制冷系統(tǒng)清理*，ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電機燒毀時會有強酸產(chǎn)生并在系統(tǒng)中駐留，如沒有處理干凈，當新的ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電機運轉(zhuǎn)后，殘留物質(zhì)會腐蝕ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機。
4、銅管系統(tǒng)清潔度不夠
其中含有水份，水份也會導(dǎo)致ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮電機絕緣不良；水份和冷媒及冷凍油在系統(tǒng)中循環(huán)，經(jīng)高溫和低溫等狀態(tài)變化，會產(chǎn)生酸性物質(zhì)，進而會破壞馬達的絕緣層，工作時間一長，ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電機就會燒毀。
5、壓縮機冷卻不良
回氣溫度太高或回氣量偏低，使壓縮機電機線圈冷卻不足。對風冷熱泵機組這種情況較多發(fā)生，而且回氣溫度過高也會導(dǎo)致排氣溫度過高，造成一系列ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機問題出現(xiàn)。
6、壓縮機啟動接觸器故障
接觸器觸點電阻過大或燒結(jié)，造成ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機電機短路燒毀，或線路接觸不良，啟動電流大很容易燒毀ICP刻蝕機配套冷卻循環(huán)水機壓縮機。
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