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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價(jià)格區(qū)間	5萬-10萬
冷卻方式	風(fēng)冷式	儀器種類	一體式
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子,航天,制藥,汽車

蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求

型號(hào)		AES-4535 AES-4535W	AES-6035 AES-6035W	AES-8035 AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W

溫度范圍		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
溫控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間		-25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s	-45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s	-55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s	-70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s	-80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s


空氣要求		空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH


空氣處理能力		7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示		制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓）循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上

控制器		西門子PLC，模糊PID控制算法
溫度控制		控制出風(fēng)口溫度
可編程		可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議		以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋		設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
溫度反饋		T型溫度傳感器
壓縮機(jī)		法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器		套管式換熱器
加熱器		法蘭式桶狀加熱器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥）
操作面板		無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑		冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管		方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（風(fēng)）cm		5469132	5469132	7573133	80120185	100150185
外型尺寸（水）cm		5469132	5469132	7573133	70100175	80120185
風(fēng)冷型		采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W		帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器		板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔）
冷卻水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1

電源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
電源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑（標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）
溫度擴(kuò)展		高溫到 +300℃

蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求

半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)

　　半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時(shí)間的使用過程中，也需要對(duì)半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng)，定期維護(hù)有利于半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置制冷效率，同時(shí)也有利于延長壽命。

　　1、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置溫控器，確保溫控器正常顯示。

　　2、檢查半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷媒量，如果不夠，需要及時(shí)補(bǔ)充冷媒。

　　3、對(duì)半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的整個(gè)電控系統(tǒng)、主機(jī)電路系統(tǒng)做一次徹查，確保正常。

　　4、試機(jī)運(yùn)行并進(jìn)行總校正，測試過熱度是否正常，各個(gè)部件有無異常聲音等。

　　5、清洗半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發(fā)器，如果水質(zhì)不是太差的話，建議累積運(yùn)行半年清洗一次。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時(shí)間運(yùn)行當(dāng)中，會(huì)有很多水雜質(zhì)產(chǎn)生，會(huì)影響制冷效果以及使用壽命等。

　　6、檢查冷凍油及潤滑油系統(tǒng)，如有污染建議對(duì)其進(jìn)行更換，以利壓縮機(jī)更加自如的運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　7、對(duì)半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置壓縮機(jī)馬達(dá)線圈進(jìn)行測試。

　　8、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關(guān)，確定高、低壓壓力在正常范圍內(nèi)。

9、檢查干燥過濾器是否正常，有沒有堵塞，必要時(shí)應(yīng)予以更換全新的干燥過濾器。